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[發明專利]一種影像檢測平臺在審

專利信息
申請號: 201811399805.2 申請日: 2018-11-22
公開(公告)號: CN109239087A 公開(公告)日: 2019-01-18
發明(設計)人: 楊云仙;朱濤 申請(專利權)人: 蘇州精瀨光電有限公司
主分類號: G01N21/88 分類號: G01N21/88;G01N21/01
代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 215125 江蘇省蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 拍照 影像檢測 被測物 測距機構 滑移機構 檢測裝置 支撐座 檢測 表面信息 焦距 檢測技術領域 位置信息調整 機構調整 激光測距 電連接 平面度 對焦 清晰 移動
【說明書】:

發明涉及檢測技術領域,尤其涉及一種影像檢測平臺。本發明提供了一種影像檢測平臺,包括支撐座、滑移機構和檢測裝置。檢測裝置設置在滑移機構上,且包括電連接的拍照機構和測距機構,拍照機構能夠基于測距機構測得的被測物位置信息調整拍照焦距。本發明提供的影像檢測平臺,一方面,通過滑移機構使檢測裝置能夠相對于支撐座移動,以在支撐座上形成檢測空間,便于檢測被測物;另一方面,利用測距機構對平面度差異較大的被測物進行檢測,可獲得被測物的表面信息,并將該表面信息發送給拍照機構,以便于拍照機構調整拍照焦距,從而獲得清晰的照片,通過激光測距可有效縮短對焦時間,提高檢測效率。

技術領域

本發明涉及檢測技術領域,尤其涉及一種影像檢測平臺。

背景技術

在顯示面板制造中,由于環境、設備、材料以及其它因素等的影響,生產的顯示面板可能存在一些缺陷。其中面板缺陷包括面板上難以被人肉眼所觀測到的微觀缺陷,對于微觀缺陷的檢測需要使用顯微鏡對面板進行詳細查看。

目前,常見的是利用影像拍照進行檢測,通過移動鏡頭的鏡片來改變焦距,使鏡頭擷取的數位化影像的梯度值發生變化,然后通過計算影像差異值尋找清晰度為最大值的成像位置以確定焦距。檢測時,相機每跑一點都要進行一次對焦,當被測物的平面度差異較大時,需要相機對被測物采集多個特征點,以計算出最清晰的成像位置,由于搜尋范圍變化較大,對焦耗時較長,影響影像檢測平臺的工作效率。

因此,亟待需要一種影像檢測平臺以解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種影像檢測平臺,對平面度差異較大的被測物進行檢測時,可有效縮短對焦時間,提高檢測效率。

為實現上述目的,提供以下技術方案:

一種影像檢測平臺,包括:

支撐座;

滑移機構,能相對于所述支撐座移動;

檢測裝置,設置在所述滑移機構上,所述檢測裝置包括電連接的拍照機構和測距機構,所述拍照機構能夠基于所述測距機構測得的被測物位置信息調整拍照焦距。

進一步地,所述滑移機構包括X向滑移機構、Y向滑移機構和Z向滑移機構,兩個所述X向滑移機構間隔平行地設置在所述支撐座上,所述Y向滑移機構與兩個所述X向滑移機構滑動連接,所述Z向滑移機構與所述Y向滑移機構滑動連接。

進一步地,所述Z向滑移機構包括第一安裝板和第二安裝板,所述拍照機構設置在所述第一安裝板上,所述測距機構設置在所述第二安裝板上。

進一步地,所述Z向滑移機構還包括:

Z向驅動組件,與所述第一安裝板相連接,以驅動所述第一安裝板沿垂直于所述支撐座的方向運動。

進一步地,所述拍照機構包括電連接的顯微鏡組件和相機組件,所述顯微鏡組件設置在所述第一安裝板上。

進一步地,所述測距機構和所述顯微鏡組件在XY面內的X坐標相同。

進一步地,還包括工作臺,所述工作臺包括:

相配合設置的X向導軌和承載臺,所述承載臺與所述X向導軌滑動連接,用于承接和放置被測物;

驅動機構,與所述承載臺相連,以驅動所述承載臺沿所述X向導軌滑動。

進一步地,兩個所述X向導軌間隔平行地設置在所述支撐座上。

進一步地,所述X向導軌上設置有傳感器,以檢測所述承載臺的位置。

進一步地,所述承載臺包括:

相連接的第二滑塊和支撐板,所述第二滑塊與所述X向導軌滑動連接;所述支撐板固設在所述第二滑塊上,用于支撐被測物。

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