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[發(fā)明專利]一種影像檢測平臺在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201811399805.2 申請日: 2018-11-22
公開(公告)號: CN109239087A 公開(公告)日: 2019-01-18
發(fā)明(設計)人: 楊云仙;朱濤 申請(專利權)人: 蘇州精瀨光電有限公司
主分類號: G01N21/88 分類號: G01N21/88;G01N21/01
代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 215125 江蘇省蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 拍照 影像檢測 被測物 測距機構 滑移機構 檢測裝置 支撐座 檢測 表面信息 焦距 檢測技術領域 位置信息調(diào)整 機構調(diào)整 激光測距 電連接 平面度 對焦 清晰 移動
【權利要求書】:

1.一種影像檢測平臺,其特征在于,包括:

支撐座(1);

滑移機構,能夠相對于所述支撐座(1)移動;

檢測裝置(6),設置在所述滑移機構上,所述檢測裝置(6)包括電連接的拍照機構(61)和測距機構(62),所述拍照機構(61)能夠基于所述測距機構(62)測得的被測物位置信息調(diào)整拍照焦距。

2.根據(jù)權利要求1所述的影像檢測平臺,其特征在于,所述滑移機構包括X向滑移機構(2)、Y向滑移機構(3)和Z向滑移機構(4),兩個所述X向滑移機構(2)間隔平行地設置在所述支撐座(1)上,所述Y向滑移機構(3)與兩個所述X向滑移機構(2)滑動連接,所述Z向滑移機構(4)與所述Y向滑移機構(3)滑動連接。

3.根據(jù)權利要求2所述的影像檢測平臺,其特征在于,所述Z向滑移機構(4)包括第一安裝板(41)和第二安裝板(42),所述拍照機構(61)設置在所述第一安裝板(41)上,所述測距機構(62)設置在所述第二安裝板(42)上。

4.根據(jù)權利要求3所述的影像檢測平臺,其特征在于,所述Z向滑移機構(4)還包括:

Z向驅動組件(43),與所述第一安裝板(41)相連接,以驅動所述第一安裝板(41)沿垂直于所述支撐座(1)的方向運動。

5.根據(jù)權利要求4所述的影像檢測平臺,其特征在于,所述拍照機構(61)包括電連接的顯微鏡組件(611)和相機組件(612),所述顯微鏡組件(611)設置在所述第一安裝板(41)上。

6.根據(jù)權利要求5所述的影像檢測平臺,其特征在于,所述測距機構(62)和所述顯微鏡組件(611)在XY面內(nèi)的X坐標相同。

7.根據(jù)權利要求1所述的影像檢測平臺,其特征在于,還包括工作臺(5),所述工作臺(5)包括:

相配合設置的X向導軌(51)和承載臺(52),所述承載臺(52)與所述X向導軌(51)滑動連接,用于承接和放置被測物;

驅動機構,與所述承載臺(52)相連,以驅動所述承載臺(52)沿所述X向導軌(51)滑動。

8.根據(jù)權利要求7所述的影像檢測平臺,其特征在于,兩個所述X向導軌(51)間隔平行地設置在所述支撐座(1)上。

9.根據(jù)權利要求7所述的影像檢測平臺,其特征在于,所述X向導軌(51)上設置有傳感器,以檢測所述承載臺(52)的位置。

10.根據(jù)權利要求7所述的影像檢測平臺,其特征在于,所述承載臺(52)包括:

相連接的第二滑塊(521)和支撐板(522),所述第二滑塊(521)與所述X向導軌(51)滑動連接;所述支撐板(522)固設在所述第二滑塊(521)上,用于支撐被測物。

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