[發(fā)明專利]晶體打磨用拋光頭結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811398634.1
• 申請(qǐng)日: 2018-11-22
• 公開（公告）號(hào): CN109202710B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅夏林;王佳;丁雨憧;徐揚(yáng);胡吉海
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所
• 主分類號(hào): B24B41/04
• 分類號(hào): B24B41/04
• 代理公司: 重慶博凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 50212
• 代理人: 李海華

1.晶體打磨用拋光頭結(jié)構(gòu)，包括圓柱形的拋光頭，拋光頭一端固定有驅(qū)動(dòng)軸，另一端安裝有拋光布，其特征在于：所述拋光布為圓片狀并大于拋光頭的端面大小，拋光布的中心與拋光頭端面中心對(duì)應(yīng)，拋光布周圍超出拋光頭端面的部分翻折后與拋光頭的圓周面貼合并通過若干沿圓周均勻分布的螺釘與拋光頭固定連接；在拋光頭圓周面上設(shè)有抱箍，抱箍位于螺釘和拋光頭安裝拋光布的端面之間，通過抱箍將貼合在拋光頭圓周面上的拋光布與拋光頭圓周面箍緊，螺釘防止拋光布周向轉(zhuǎn)動(dòng)，抱箍結(jié)合螺釘防止拋光布軸向滑動(dòng)；抱箍和螺釘固定拋光布后，拋光布整體處于緊繃狀態(tài)；

在拋光頭圓周面上設(shè)有兩平行的環(huán)形凹槽，固定拋光布的所有螺釘安裝在靠近驅(qū)動(dòng)軸那一端的環(huán)形凹槽內(nèi)，抱箍將拋光布箍緊后位于另一個(gè)環(huán)形凹槽內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體打磨用拋光頭結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述拋光布圓周邊緣沿直徑向外延伸形成有若干等角度分布的固定支耳，每個(gè)支耳通過所述螺釘固定在拋光頭圓周面上以實(shí)現(xiàn)拋光布與拋光頭的固定。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體打磨用拋光頭結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述環(huán)形凹槽的橫截面為弧形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體打磨用拋光頭結(jié)構(gòu)，其特征在于：在拋光頭內(nèi)部設(shè)有若干貫穿兩端面的拋光液通道，各拋光液通道在拋光頭內(nèi)互不連通；在拋光布與拋光頭端面對(duì)應(yīng)的區(qū)域設(shè)有若干出液孔，拋光布上的出液孔與拋光液通道出口彼此正對(duì)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶體打磨用拋光頭結(jié)構(gòu)，其特征在于：拋光頭朝向驅(qū)動(dòng)軸那端的圓周面向驅(qū)動(dòng)軸方向平行延伸以形成突出于端面的圍擋，該圍擋用于容納超出拋光液通道的拋光液。