[發明專利]一種微型器件轉移裝置、轉移系統及轉移方法

在審

• 申請號: 201811381608.8
• 申請日: 2018-11-20
• 公開（公告）號: CN109524339A
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 韓進龍
• 申請（專利權）人: 韓進龍
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 安徽知問律師事務所 34134
• 代理人: 王亞軍

1.一種微型器件轉移裝置，其特征在于，包括，

一個或多個微型器件轉移匣(201)，微型器件轉移匣(201)與轉移機構對應，用于存放微型器件(1)，并將微型器件(1)轉移至轉移機構的感應裝置(202)上；

轉移機構，包括感應裝置(202)和與感應裝置(202)相對設置的轉寫輪(203)，利用感應裝置(202)、微型器件(1)和轉寫輪(203)之間的電場感應進行微型器件(1)的轉移，將感應裝置(202)上的微型器件(1)轉移至轉移基板(5)上。

2.根據權利要求1所述的一種微型器件轉移裝置，其特征在于，還包括清潔機構，將感應裝置(202)上未轉移完全的微型器件(1)回收。

3.根據權利要求2所述的一種微型器件轉移裝置，其特征在于，所述的清潔機構包括感應裝置刮刀(205)和感應回收倉(206)，感應裝置刮刀(205)緊貼感應裝置(202)的外緣，感應回收倉(206)與感應裝置(202)相鄰設置，未轉移完全的微型器件(1)回收至感應回收倉(206)內。

4.根據權利要求1所述的一種微型器件轉移裝置，其特征在于，所述的微型器件轉移匣(201)包括殼體，殼體內設置有轉移滾輪(211)，轉移滾輪(211)設置有用于放置微型器件(1)的轉移滾輪轉移孔(223)，轉移滾輪(211)內部設置有轉移滾輪磁鐵(221)，轉移滾輪(211)上設置有轉移滾輪刮刀(224)。

5.根據權利要求1所述的一種微型器件轉移裝置，其特征在于，所述的感應裝置(202)為一金屬滾輪或外部通過皮帶的連接多個滾輪結構，金屬滾輪或皮帶上設置有導電層。

6.根據權利要求1所述的一種微型器件轉移裝置，其特征在于，感應裝置(202)為感應輪，感應輪內部設置有感應輪磁鐵(2022)和/或轉寫輪(203)內部設置有轉寫輪磁鐵(2031)。

7.根據權利要求1或6所述的一種微型器件轉移裝置，其特征在于，感應裝置(202)上設置有感應孔位(2021)，感應孔位(2021)直徑大于微型器件(1)上部直徑。

8.根據權利要求1所述的一種微型器件轉移裝置，其特征在于，還包括回收系統，回收系統設置于微型器件轉移匣(201)內和/或設置于轉移機構后段，將未安裝在對應部位的微型器件(1)進行回收。

9.根據權利要求8所述的一種微型器件轉移裝置，其特征在于，設置于微型器件轉移匣(201)內的回收系統結構如下，微型器件轉移匣(201)內的轉移滾輪(211)相鄰的位置設置有回收輪(212)，轉移滾輪(211)與回收輪(212)緊貼，回收輪(212)內部靠近轉移滾輪(211)一側設置有回收輪磁鐵(222)，回收輪(212)內部背離轉移滾輪(211)一側無磁鐵。

10.根據權利要求8所述的一種微型器件轉移裝置，其特征在于，設置于轉移機構后段的回收系統結構如下，包括回收輪(212)和與回收輪(212)對應的回收壓輪(215)，轉移基板(5)從回收輪(212)和回收壓輪(215)之間通過，回收輪(212)內部靠近回收壓輪(215)一側設置有回收輪磁鐵(222)，回收輪(212)內部背離回收壓輪(215)一側無磁鐵，回收壓輪(215)內部設置有磁鐵。

11.一種微型器件轉移系統，其特征在于，包括權利要求1-10所述的若干轉移裝置(2)、轉移基板(5)、傳感器(204)及控制系統，若干轉移裝置(2)設置有一個或者多個，轉移基板(5)穿過轉移裝置(2)，轉移裝置(2)將微型器件(1)從轉移裝置(2)中轉移至轉移基板(5)上，傳感器(204)對轉移基板(5)進行探測，控制系統控制若干轉移裝置(2)的工作和轉移基板(5)的前進。