[發(fā)明專利]壓力傳感器、其制造方法和具有該壓力傳感器的顯示裝置

有效

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• 申請日: 2018-11-19
• 公開（公告）號: CN109813468B
• 公開（公告）日: 2022-11-29
• 發(fā)明（設計）人: 林載翊;樸源祥;秋惠容;金度逸;李來應;李韓星
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司;成均館大學校產(chǎn)學協(xié)力團
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16;G06F3/041;G06F3/044
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權代理有限公司 11286
• 代理人: 劉潤蓓;張敏

提供一種壓力傳感器、其制造方法和具有該壓力傳感器的顯示裝置。所述壓力傳感器包括：基體基底，包括浮凸圖案；第一導電層，設置在基體基底上；壓敏材料層，設置在第一導電層上，以使壓敏材料層的電特性與施加于壓敏材料層的應變對應地變化，壓敏材料層包括電介質(zhì)和分散在電介質(zhì)中的納米顆粒；以及第二導電層，設置在壓敏材料層上，其中，電介質(zhì)和納米顆粒包括具有極性彼此相反的熱電性的材料。

本申請要求于2017年11月20日在韓國知識產(chǎn)權局提交的第10-2017-0155067號韓國專利申請的優(yōu)先權，該韓國專利申請的全部公開內(nèi)容通過引用包含于此。

技術領域

本公開的一方面涉及一種壓力傳感器、一種該壓力傳感器的制造方法以及一種具有該壓力傳感器的顯示裝置。

背景技術

壓力傳感器是用于將諸如負載、重量和壓力的力學量轉(zhuǎn)換成電信號的傳感器，并且用于諸如車輛、飛行器、工業(yè)過程、辦公自動化、家用電器、醫(yī)療護理和環(huán)境控制的各種領域。

這種壓力傳感器可以包括借助于物理力產(chǎn)生電信號的材料。由于包括在壓力傳感器中的材料對應變和溫度都具有敏感性，因此可能難以在溫度和應變同時變化的環(huán)境中檢測壓力值的準確信息。

發(fā)明內(nèi)容

實施例提供了一種能夠提高裝置特性的壓力傳感器、一種壓力傳感器的制造方法以及一種具有該壓力傳感器的顯示器。

根據(jù)本公開的一方面，提供一種壓力傳感器，該壓力傳感器包括：基體基底，包括浮凸圖案；第一導電層，設置在基體基底上；壓敏材料層，設置在第一導電層上，以使壓敏材料層的電特性與施加于壓敏材料層的應變對應地變化，壓敏材料層包括電介質(zhì)和分散在電介質(zhì)中的納米顆粒；以及第二導電層，設置在壓敏材料層上，其中，電介質(zhì)和納米顆粒包括具有極性彼此相反的熱電性的材料。

電介質(zhì)可以包括具有正(+)熱電性的鐵電壓電材料，納米顆粒可以包括具有負(-)熱電性的鈦酸鋇(BaTiO₃)納米顆粒、鈦酸鋰(Li₄Ti₅O₁₂)納米顆粒、鋯鈦酸鉛(PZT)納米顆粒、鈦酸鉛(PbTiO₃)納米顆粒和Pb₅Ge₃O₁₁納米顆粒中的一種。

在壓敏材料層中，納米顆粒具有大約30wt％至40wt％的濃度。

浮凸圖案可以包括：多個突出部分，從基體基底的其上形成有第一導電層的表面突出，并且具有峰；以及谷，設置在相鄰的突出部分之間。

壓力傳感器還可以包括設置在突出部分的峰處的多個虛設圖案。

第一導電層可以具有對應于浮凸圖案的彎曲的表面。

根據(jù)本公開的一方面，提供了一種制造壓力傳感器的方法，該方法包括：準備包括浮凸圖案的基體基底；在基體基底上形成第一導電層，其中，第一導電層具有對應于浮凸圖案的彎曲的表面；將包括第一導電層的基體基底固定到全方向拉伸裝置，然后通過在所有方向上對基體基底施加張力來使第一導電層的彎曲的表面平坦化，以形成平坦化表面；在具有平坦化表面的第一導電層上形成壓敏材料層，其中，壓敏材料層包括電介質(zhì)和分散在電介質(zhì)中的納米顆粒；以及在壓敏材料層上形成第二導電層，其中，電介質(zhì)和納米顆粒包括具有極性彼此相反的熱電性的材料。

根據(jù)本公開的一方面，提供了一種顯示裝置，該顯示裝置包括：顯示面板，構造為顯示圖像；以及壓力傳感器，設置在顯示面板的一個表面上，壓力傳感器感測施加到顯示面板的觸摸的壓力，其中，壓力傳感器包括：基體基底，包括浮凸圖案；第一導電層，設置在基體基底上；壓敏材料層，設置在第一導電層上，以使壓敏材料層的電特性與施加于壓敏材料層的應變對應地變化，壓敏材料層包括電介質(zhì)和分散在電介質(zhì)中的納米顆粒；以及第二導電層，設置在壓敏材料層上，其中，電介質(zhì)和納米顆粒包括具有極性彼此相反的熱電性的材料。

附圖說明