[發明專利]一種檢測幽門螺旋桿菌的碳納米管傳感器及其檢測方法在審
| 申請號： | 201811357050.X | 申請日： | 2018-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN109283088A | 公開（公告）日： | 2019-01-29 |
| 發明（設計）人： | 吳鑫欣 | 申請（專利權）人： | 廣州加泰醫藥科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N5/02 | 分類號： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 510000 廣東省廣州市高新技術產業開*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電材料薄層 碳納米管 吸附 碳納米管傳感器 幽門螺旋桿菌 檢測 二氧化硅層 二氧化硅 質量差 種檢測 襯底 醫療檢測設備 檢測靈敏度 高效檢測 空間區域 氣體分子 碳同位素 貼合固定 壓電材料 壓電效應 質量變化 中間區域 同位素 低成本 低功耗 電勢差 便攜 電勢 基板 測試 應用 保證 | ||
【權利要求書】：
1.一種檢測幽門螺旋桿菌的碳納米管傳感器，其包括二氧化硅襯底(1)、壓電材料薄層(2)、二氧化硅層(3)、碳納米管(4)，其特征在于：二氧化硅襯底(1)、壓電材料薄層(2)、二氧化硅層(3)、碳納米管(4)依次貼合固定，壓電材料薄層(2)基板形成用于測試電勢差的空間區域(5)、中間區域6。
2.根據權利要求1所述的一種檢測幽門螺旋桿菌的碳納米管傳感器，其特征在于：所述的二氧化硅襯底(1)為起支撐作用的硬絕緣材料。
3.根據權利要求1所述的一種檢測幽門螺旋桿菌的碳納米管傳感器，其特征在于：所述的壓電材料薄層(2)為AlN薄膜材料。
4.根據權利要求1所述的一種檢測幽門螺旋桿菌的碳納米管傳感器及其檢測方法，其步驟：
①、二氧化硅層(3)、碳納米管(4)，同時作為介電層，采用氣相沉積工藝在壓電材料薄層(2)表面沉積一薄層二氧化硅；
②、通過濕法轉移或者干法轉移技術，將準備好的碳納米管(4)轉移至二氧化硅層(3)的正上方；
③、在壓電材料薄層(2)側面的一個角空間區域(5)、中間區域6旋涂光刻膠并對其進行光刻，做任意形狀電極。
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