[發明專利]晶體生長安瓿位置調節裝置及系統在審
| 申請號： | 201811355065.2 | 申請日： | 2018-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN109161972A | 公開（公告）日： | 2019-01-08 |
| 發明（設計）人： | 樊龍;肖婷婷;彭麗萍;黎維華;閻大偉;吳衛東;沈昌樂;蔣濤;湛治強 | 申請（專利權）人： | 中國工程物理研究院激光聚變研究中心 |
| 主分類號： | C30B35/00 | 分類號： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王正楠 |
| 地址： | 621000 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 熱電偶 套筒 晶體生長安瓿 位置調節裝置 支撐組件 固定塞 陶瓷桿 安瓿 位置調節組件 徑向溫度場 開口 定位支撐組件 豎直方向移動 安裝調試 安瓿位置 晶體生長 生長過程 實時監控 位置調節 裝置結構 不對稱 發熱體 支撐桿 產率 穿設 穿過 | ||
1.一種晶體生長安瓿位置調節裝置，其特征在于，包括
支撐組件，包括套筒、熱電偶桿、陶瓷桿以及固定塞，所述套筒的兩端設有開口，所述開口設有所述固定塞，所述陶瓷桿的一端穿過所述固定塞設置于所述套筒的內部，所述熱電偶桿穿設于所述陶瓷桿內；
熱電偶，所述熱電偶的熱電偶絲穿設于所述熱電偶桿，所述熱電偶測溫點設置于所述熱電偶桿位于所述套筒內的一端；
位置調節組件，所述位置調節組件通過支撐桿與所述支撐組件連接，用于在水平和豎直方向移動和定位所述支撐組件。
2.根據權利要求1所述的晶體生長安瓿位置調節裝置，其特征在于，所述套筒、所述熱電偶桿、所述陶瓷桿、所述固定塞的中心軸線相互重合。
3.根據權利要求1所述的晶體生長安瓿位置調節裝置，其特征在于，所述固定塞沿軸向方向設有第一通孔，所述陶瓷桿穿過所述第一通孔設置于所述套筒的內部，所述第一通孔的中心軸線與所述固定塞的中心軸線重合。
4.根據權利要求3所述的晶體生長安瓿位置調節裝置，其特征在于，所述第一通孔的孔徑與所述陶瓷桿的外徑相等。
5.根據權利要求1所述的晶體生長安瓿位置調節裝置，其特征在于，所述陶瓷桿沿軸向方向設有第二通孔，所述熱電偶桿設置于所述第二通孔內，所述第二通孔的中心軸線與所述陶瓷桿的中心軸線重合。
6.根據權利要求5所述的晶體生長安瓿位置調節裝置，其特征在于，所述熱電偶桿的外徑與所述第二通孔的孔徑相等。
7.根據權利要求1所述的晶體生長安瓿位置調節裝置，其特征在于，所述陶瓷桿位于所述套筒內的一端設有凹部，所述熱電偶測溫點設置于所述凹部。
8.一種安瓿位置調節系統，其特征在于，包括管式爐和如權利要求1至7任一項所述的晶體生長安瓿位置調節裝置，所述支撐組件設置于所述管式爐的內部。
9.根據權利要求8所述的安瓿位置調節系統，其特征在于，所述管式爐包括水平爐腔，所述位置調節組件帶動所述套筒沿所述套筒的軸線方向移動的位移大于所述水平爐腔的長度。
10.根據權利要求9所述的安瓿位置調節系統，其特征在于，所述位置調節組件帶動所述套筒在水平和豎直方向移動的位置大于所述水平爐腔的直徑。
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