[發(fā)明專利]升降裝置及清洗系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811339967.7
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN111167807B
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫文婷;王銳廷;李廣義;姬丹丹
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: B08B9/023
• 分類號: B08B9/023;B08B9/027;B08B9/02;B08B13/00
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

本發(fā)明提供的升降裝置和清洗系統(tǒng)，用于驅(qū)動腔體進(jìn)行升降運(yùn)動，其包括主升降機(jī)構(gòu)與輔助調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，主升降機(jī)構(gòu)通過升降臂和支撐組件驅(qū)動腔體進(jìn)行主升降，輔助調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與升降臂連接，用于調(diào)節(jié)腔體的水平中心線與水平面的夾角。借助本發(fā)明的升降裝置，一方面，在將水平放置的腔體放置到具有傾斜角的清洗槽中時，利用主升降機(jī)構(gòu)將腔體的一端放在清洗槽的底部，再利用輔助調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)腔體的水平中心線與水平面的夾角，以將腔體的另一端放置在清洗槽中，避免對腔體產(chǎn)生碰撞；另一方面，當(dāng)腔體清洗完畢，將腔體從清洗槽中移出時，利用輔助調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)使腔體的水平中心線與水平面之間形成夾角，以使殘留在腔體中的清洗液傾倒出去，易于腔體的干燥。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種升降裝置及清洗系統(tǒng)。

背景技術(shù)

石英管被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和光伏等迅猛發(fā)展的高科技領(lǐng)域，這些領(lǐng)域?qū)崈舳纫蠓浅８撸虼耍瑢κ⒐艿臐崈舳纫笠彩謬?yán)格。在半導(dǎo)體制程中，一般會在擴(kuò)散等工藝前對石英管進(jìn)行清洗。在石英管清洗過程中，會采用自動化搬送系統(tǒng)將石英管轉(zhuǎn)移到清洗槽中進(jìn)行清洗。

現(xiàn)有技術(shù)中的石英管搬送系統(tǒng)，只能垂直移動水平放置的石英管，但是，清洗槽的底部往往具有一定傾斜角度，在使用現(xiàn)有技術(shù)的石英管搬送系統(tǒng)自外部向清洗槽中搬送石英管時，水平放置的石英管的一端先與清洗槽的底部接觸，而石英管的另一端不可避免的會與清洗槽的底部反生碰撞，進(jìn)而對石英管產(chǎn)生沖擊，導(dǎo)致石英管的破損。

因此，如何安全地將水平放置的石英管轉(zhuǎn)移至具有一定傾斜角度的清洗槽中，成為本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種升降裝置及清洗系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中水平放置的石英管與清洗槽的底部發(fā)生碰撞進(jìn)而導(dǎo)致石英管破損的問題。

作為本發(fā)明的一方面，本發(fā)明提供了一種升降裝置，用于驅(qū)動腔體進(jìn)行升降運(yùn)動，其中，包括：

主體結(jié)構(gòu)；

主升降機(jī)構(gòu)，與主體結(jié)構(gòu)連接；

升降臂，與主升降機(jī)構(gòu)連接，且升降臂能在主升降機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下升降；

支撐組件，與升降臂的自由端連接，用于承載腔體，且支撐組件能在升降臂的帶動下使腔體進(jìn)行主升降；

輔助調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，與升降臂連接，且輔助調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)腔體的水平中心線與水平面的夾角。

其中，輔助調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括：

框架；

升降臂固定架，位于框架內(nèi)，且升降臂固定架的一側(cè)固定有升降臂；

第一導(dǎo)軌單元，包括沿豎直方向穿設(shè)在升降臂固定架中的多個第一導(dǎo)軌；

傳動組件，與升降臂固定架連接，且傳動組件能在第一驅(qū)動源的驅(qū)動下帶動升降臂固定架沿第一導(dǎo)軌移動。

其中，所述主升降機(jī)構(gòu)包括第二驅(qū)動源和兩個第二導(dǎo)軌，兩個所述第二導(dǎo)軌分別連接在所述主體結(jié)構(gòu)的兩側(cè)，所述第二驅(qū)動源能驅(qū)動兩個所述第二導(dǎo)軌分別沿所述主體結(jié)構(gòu)的兩側(cè)升降。

其中，升降臂包括第一提升臂和第二提升臂，第一提升臂和第二提升臂分別與對應(yīng)的第二導(dǎo)軌連接；

輔助調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與第一提升臂連接，以單獨(dú)調(diào)節(jié)腔體的一端的高度。

其中，支撐組件包括橫梁和支撐臂，其中，橫梁分別與第一提升臂和第二提升臂的自由端連接；支撐臂的數(shù)量為多個，每個支撐臂的一端均與橫梁連接，每個支撐臂的另一端均懸空；

支撐臂為掛鉤。

其中，升降裝置還包括兩個擋板，兩個擋板設(shè)置在橫梁上，用于當(dāng)腔體的中心線與水平面之間具有夾角時，阻擋腔體從支撐臂上滑落。