[發明專利]一種微振動傳感器及其制備方法有效
| 申請號： | 201811326680.0 | 申請日： | 2018-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN109341843B | 公開（公告）日： | 2020-03-06 |
| 發明（設計）人： | 韓志武;王可軍;宋洪烈;張俊秋;陳道兵;劉林鵬;張斌杰;孫濤;王大凱;張昌超 | 申請（專利權）人： | 吉林大學 |
| 主分類號： | G01H11/08 | 分類號： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;朱陽波 |
| 地址： | 130012 *** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 振動 傳感器 及其 制備 方法 | ||
1.一種微振動傳感器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
在金屬片上涂覆第一固化材料，并將第一固化材料固化成第一固化層；
將壓電薄膜元件貼在第一固化層的邊緣；
將第一固化層貼有壓電薄膜元件的一邊豎直放入第二固化材料中，并將第二固化材料固化成第二固化層；
去除金屬片，得到微振動傳感器；其中，在去除所述金屬片后，所述第二固化層上形成裂紋，在所述裂紋尖端處形成尖端應力場，所述壓電薄膜元件位于所述尖端應力場中。
2.根據權利要求1所述的微振動傳感器的制備方法，其特征在于，所述壓電薄膜元件通過將壓電薄膜兩側分別連接電極后封裝而成。
3.根據權利要求2所述的微振動傳感器的制備方法，其特征在于，所述壓電薄膜采用聚偏氟乙烯、氧化鋅、PbTiO3系壓電材料、壓電晶體或壓電陶瓷中的一種或多種制成。
4.根據權利要求2所述的微振動傳感器的制備方法，其特征在于，所述電極通過將電極材料沉積、蒸鍍、濺鍍或刷涂在所述壓電薄膜上制成。
5.根據權利要求4所述的微振動傳感器的制備方法，其特征在于，所述電極材料采用銅、銀、鈦、金、鋁、銦錫氧化物、石墨烯或石墨中的一種或多種。
6.根據權利要求1所述的微振動傳感器的制備方法，其特征在于，所述第一固化材料采用環氧樹脂、硅氧烷或紫外固化膠中的一種或多種；所述第二固化材料采用環氧樹脂、硅氧烷或紫外固化膠中的一種或多種。
7.根據權利要求1所述的微振動傳感器的制備方法，其特征在于，所述金屬片的厚度為20-200μm。
8.根據權利要求1所述的微振動傳感器的制備方法，其特征在于，所述金屬片為鋁片，所述去除金屬片步驟具體為：采用氯化鐵溶液去除鋁片。
9.根據權利要求1所述的微振動傳感器的制備方法，其特征在于，所述第一固化層的厚度為20-200μm。
10.一種微振動傳感器，其特征在于，采用如權利要求1所述的微振動傳感器的制備方法制成。
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