[發明專利]感光性樹脂組成物

在審

• 申請號: 201811325064.3
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN109752923A
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發明（設計）人: 鄭壤鎬;樸廷敏;邊鎮洙;全保建;樸喆遠;鄭炳和;崔善華;金東明;金珍善;呂泰勳;尹赫敏;李政鎮
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司;株式會社東進世美肯
• 主分類號: G03F7/033
• 分類號: G03F7/033
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 孫昌浩;李盛泉

根據本發明的一實施例的感光性樹脂組成物相對于丙烯酸系共聚物100重量份而包括：0.1至20重量份的自由基光引發劑；0.1至10重量份的離子光引發劑；1至50重量份的多官能團丙烯酸酯低聚物；1至50重量份的具有烯鍵式不飽和鍵的多官能團單體；以及溶劑。

技術領域

本發明涉及一種感光性樹脂組成物及利用該組成物的圖案形成方法。

背景技術

通常，顯示裝置是目前被廣泛使用的顯示裝置，包括液晶顯示裝置(Liquidcrystal display；LCD)和有機發光顯示裝置(Organic light emitting display；OLED)等多種。并且，最近，將顯示裝置彎曲而形成為曲面型的顯示裝置受到矚目，其可以提高使用者的投入感。

在形成這種顯示裝置的過程中，為了將膜圖案化，可以使用光刻工藝，此時使用光刻膠物質。或者，可以將光刻膠物質曝光、顯影而直接形成膜。

可以使用上述光刻膠而形成絕緣膜、柱狀間隔物、過量涂層、濾色層，其中，用于形成光刻膠的感光性樹脂組成物的成分構成會影響分辨率、粘合力、留膜率等。

發明內容

實施例用于提供一種能夠在低溫下固化，且靈敏度、留膜率優秀且殘渣特性優秀的感光性樹脂組成物及利用此的圖案形成方法。

根據本發明的一實施例的感光性樹脂組成物相對于丙烯酸系共聚物100重量份而包括：0.1至20重量份的自由基光引發劑；0.1至10重量份的離子光引發劑；1至50重量份的多官能團丙烯酸酯低聚物；1至50重量份的具有烯鍵式不飽和鍵的多官能團單體；以及溶劑。

所述感光性樹脂組成物可以在90℃以下的溫度下被固化。

所述自由基光引發劑可以是2-(O-苯甲酰基肟)-1-[4-(苯基硫代)苯基]-1,2-辛二酮或2-(O-乙酰基肟)-1-[4-(苯基硫代)苯基]-1,2-辛二酮。

所述離子光引發劑可以是從由苯基(4-甲氧基苯基)碘鎓六氟化磷、N,N-二甲基-N-芐基三氟甲磺酸、4-甲基苯基(4-(2-甲基丙基苯基))碘鎓六氟化磷及苯基(4-甲氧基苯基)碘鎓六氟化砷組成的群中選擇的一個。

所述自由基光引發劑和所述離子光引發劑的含量比可以為2:1至1:2。

所述感光性樹脂組成物的固形物含量可以為10重量％至50重量％。

所述感光性樹脂組成物還可以包括三聚氰胺交聯劑。

所述感光性樹脂組成物還可以包括硅烷偶聯劑。

所述丙烯酸共聚物可以通過將不飽和羧基化合物和不飽和烯烴化合物共聚而形成。

所述溶劑的沸點可以小于150℃。

根據實施例，根據本實施例的感光性樹脂組成物及利用該組成物的圖案形成方法的靈敏度、留膜率優秀，且可以改善殘渣特性，并且在低溫工序中的粘合力及耐化學性優秀。

附圖說明

圖1至圖4是示出根據本發明的一實施例的圖案形成方法的工藝流程圖。

符號說明

110：基板 400：被涂覆的感光性樹脂組成物

410：感光性樹脂組成物層 700：掩膜

具體實施方式

以下，參照附圖對本發明的多個實施例進行詳細的說明，以使本發明所屬技術領域中具有基本知識的人員能夠容易地實施。本發明可以實現為多種不同的形態，而并非局限于在本文中說明的實施例。