[發明專利]金屬-氧化物-金屬電容結構

有效

• 申請號: 201811323365.2
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN111128952B
• 公開（公告）日: 2021-12-17
• 發明（設計）人: 陳駿盛
• 申請（專利權）人: 力晶積成電子制造股份有限公司
• 主分類號: H01L23/522
• 分類號: H01L23/522
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種金屬-氧化物-金屬(metal-oxide-metal，MOM)電容結構，其特征在于，包含：

第一金屬層，其包含：

多個第一金屬條(stripe)與多個第二金屬條，沿著一第一方向延伸，該多個第一金屬條與該多個第二金屬條沿著一第二方向交錯并排，其中該第一方向與該第二方向相交；

多個第一金屬側凸(metal jog)，沿著該第二方向延伸，各該第一金屬側凸分別連接于該多個第一金屬條的其中一個；以及

多個第二金屬側凸，沿著該第二方向延伸，各該第二金屬側凸分別連接于該多個第二金屬條的其中一個；以及

第二金屬層，設于該第一金屬層之上，該第二金屬層包含：

多個第三金屬條與多個第四金屬條，沿著該第一方向延伸，該多個第三金屬條與該多個第四金屬條沿著該第二方向交錯并排；

多個第三金屬側凸，沿著該第二方向延伸，各該第三金屬側凸分別連接于該多個第三金屬條的其中一個；以及

多個第四金屬側凸，沿著該第二方向延伸，各該第四金屬側凸分別連接于該多個第四金屬條的其中一個；

其中在一投影平面上，各該第三金屬條的投影與該多個第二金屬條的其中一個的投影部分重疊，各該第四金屬條的投影與該多個第一金屬條的其中一個的投影部分重疊，該多個第一金屬條的投影與該多個第三金屬條的投影彼此不重疊，該多個第一金屬條電連接于該多個第三金屬條但不電連接于該多個第二金屬條，且該多個第二金屬條電連接于該多個第四金屬條。

2.如權利要求1所述的金屬-氧化物-金屬電容結構，其另包括：

多個第一連接元件，分別設置于該多個第一金屬側凸的其中一個以及該多個第三金屬側凸的其中一個之間，各該第一連接元件用來電連接位于該第一連接元件上、下兩端的該第一金屬側凸與該第三金屬側凸；以及

多個第二連接元件，分別設置于該多個第二金屬側凸的其中一個以及該多個第四金屬側凸的其中一個之間，各該第二連接元件用來電連接位于該第二連接元件上、下兩端的該第二金屬側凸與該第四金屬側凸。

3.如權利要求2所述的金屬-氧化物-金屬電容結構，其中各該第一連接元件與各該第二連接元件分別為一金屬插塞。

4.如權利要求1所述的金屬-氧化物-金屬電容結構，其中在相鄰的一個該第一金屬條與一個該第二金屬條之間設置有多個該多個第一金屬側凸與多個該多個第二金屬側凸，且該多個第一金屬側凸與該多個第二金屬側凸沿著該第一方向穿插并排。

5.如權利要求1所述的金屬-氧化物-金屬電容結構，其中該多個第一金屬條的其中一個連接于多個該多個第一金屬側凸，且該多個金屬側凸分別設置于該第一金屬條的兩側并以該第一金屬條當作對稱線而呈鏡像對稱。

6.如權利要求5所述的金屬-氧化物-金屬電容結構，其中任一個該第一金屬側凸沿著該第二方向的延伸線與任一個該第二金屬側凸沿著該第二方向的延伸線互相錯位。

7.如權利要求1所述的金屬-氧化物-金屬電容結構，其中該多個第一金屬條的其中一個連接于多個該多個第一金屬側凸，該多個第一金屬側凸分別設置于該第一金屬條的兩側，且該多個第一金屬側凸沿著該第二方向的延伸線彼此錯位。

8.如權利要求7所述的金屬-氧化物-金屬電容結構，其中各該第一金屬側凸沿著該第二方向的延伸線重疊于該多個第二金屬側凸的至少其中一個。

9.如權利要求1所述的金屬-氧化物-金屬電容結構，其中該第一金屬層另包括：

第一總線，沿著該第二方向延伸并連接于該多個第一金屬條；以及

第二總線，沿著該第二方向延伸并連接于該多個第二金屬條；

其中該多個第一金屬與該多個第二金屬條位于該第一總線與該第二總線之間。