[發明專利]熱電器件和用于形成熱電器件的方法在審
| 申請號: | 201811301386.4 | 申請日: | 2018-11-02 |
| 公開(公告)號: | CN109755378A | 公開(公告)日: | 2019-05-14 |
| 發明(設計)人: | C.卡斯特蘭;A.布雷梅澤;M.門格爾;A.尼德霍費爾 | 申請(專利權)人: | 英飛凌科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L35/32 | 分類號: | H01L35/32;H01L35/34 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 徐紅燕;申屠偉進 |
| 地址: | 德國瑙伊比*** | 國省代碼: | 德國;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體臺面 熱電器件 導電性類型 玻璃結構 串聯電連接 結構橫向 地電 絕緣 | ||
1.一種熱電器件(100、200、400、600、700、800),其包括:
多個第一半導體臺面結構(110),其具有第一導電性類型;
多個第二半導體臺面結構(120),其具有第二導電性類型,其中多個第一半導體臺面結構(110)中的第一半導體臺面結構(110)和多個第二半導體臺面結構(120)中的第二半導體臺面結構(120)被串聯電連接;以及
玻璃結構(130),其包括硼硅酸鹽玻璃、硼鋅玻璃和低轉變溫度玻璃中的至少一個,其中玻璃結構(130)橫向布置在多個第一半導體臺面結構(110)中的第一半導體臺面結構(110)和多個第二半導體臺面結構(120)中的第二半導體臺面結構(120)之間,其中玻璃結構(130)將多個第一半導體臺面結構(110)中的第一半導體臺面結構(110)與多個第二半導體臺面結構(120)中的第二半導體臺面結構(120)橫向地電絕緣。
2.根據權利要求1所述的熱電器件,還包括多個金屬化結構(140),其位于多個第一半導體臺面結構(110)中的第一半導體臺面結構(110)和多個第二半導體臺面結構(120)中的第二半導體臺面結構(120)的一側,其中多個金屬化結構(140)中的每一個金屬化結構(140)將多個第一半導體臺面結構(110)中的第一半導體臺面結構(110)電連接到多個第二半導體臺面結構(120)中的第二半導體臺面結構(120)。
3.根據權利要求1或2所述的熱電器件,其中玻璃結構(130)的熱膨脹系數大于多個第一半導體臺面結構(110)中的第一半導體臺面結構(110)的熱膨脹系數的50%并且小于其200%。
4.根據前述權利要求中任一項所述的熱電器件,其中多個第一半導體臺面結構(110)中的第一半導體臺面結構(110)和多個第二半導體臺面結構(120)中的第二半導體臺面結構(120)包括硅、鍺、硅鍺和碲化鉍中的至少一個。
5.根據前述權利要求中任一項所述的熱電器件,其中多個第一半導體臺面結構(110)中的第一半導體臺面結構(110)和多個第二半導體臺面結構(120)中的第二半導體臺面結構(120)具有大于25μm且小于250μm的最大橫向尺寸。
6.根據前述權利要求中任一項所述的熱電器件,其中多個第一半導體臺面結構(110)中的第一半導體臺面結構(110)和多個第二半導體臺面結構(120)中的第二半導體臺面結構(120)具有大于200μm且小于1mm的垂直尺寸。
7.根據前述權利要求中任一項所述的熱電器件,其中多個第一半導體臺面結構(110)中的第一半導體臺面結構(110)和多個第二半導體臺面結構(120)中的第二半導體臺面結構(120)之間的最小橫向距離小于多個第一半導體臺面結構(110)中的第一半導體臺面結構(110)的最大橫向尺寸的75%。
8.一種熱電器件(100、200、400、600、700、800),其包括:
多個第一半導體臺面結構(110),其具有第一導電性類型;以及
多個第二半導體臺面結構(120),其具有第二導電性類型,其中多個第二半導體臺面結構(120)中的第二半導體臺面結構(120)和多個第一半導體臺面結構(110)中的第一半導體臺面結構(110)在至少第一橫向方向(210)上交替地布置;
其中,位于在第一橫向方向(210)上最接近的多個第一半導體臺面結構(110)中的兩個第一半導體臺面結構(110)之間的第一橫向距離(220)不同于位于在第二橫向方向(240)上最接近的多個第一半導體臺面結構(110)中的兩個第一半導體臺面結構(110)之間的第二橫向距離(230)達多于第一橫向距離(220)的10%。
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