[發(fā)明專(zhuān)利]具有CMP拋光墊用的高UV透明度的脂肪族UV固化的聚氨基甲酸酯光學(xué)終點(diǎn)檢測(cè)窗口

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811264918.1
• 申請(qǐng)日: 2018-10-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109794848B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M·R·加丁科
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 羅門(mén)哈斯電子材料CMP控股股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B37/20
• 分類(lèi)號(hào): B24B37/20;B24B37/24;B24B37/26;B24B49/12;B24D11/00
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 陳哲鋒;胡嘉倩

1.一種化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊，用于拋光選自包括所述CMP拋光墊的磁性襯底、光學(xué)襯底和半導(dǎo)體襯底中的至少一者的襯底，所述CMP拋光墊具有一個(gè)或多個(gè)終點(diǎn)檢測(cè)窗，其為具有兩個(gè)(甲基)丙烯酸酯端基的線(xiàn)性環(huán)脂肪族氨基甲酸酯大分子單體或其環(huán)脂肪族氨基甲酸酯寡聚物與脂肪族引發(fā)劑的反應(yīng)混合物的固化產(chǎn)物，所述(甲基)丙烯酸酯端基經(jīng)由環(huán)脂肪族二氨基甲酸酯鍵合至聚醚、聚碳酸酯或聚酯鏈，其中所述線(xiàn)性環(huán)脂肪族氨基甲酸酯大分子單體中的總異氰酸酯含量在3.3至10重量％范圍內(nèi)，并且進(jìn)一步地，其中，所述固化產(chǎn)物包括少于5重量％的未反應(yīng)的(甲基)丙烯酸酯單體，并且大體上不含未反應(yīng)的異氰酸酯。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊，其中所述線(xiàn)性環(huán)脂肪族氨基甲酸酯大分子單體的所述環(huán)脂肪族二氨基甲酸酯含有C₆至C₁₈環(huán)脂肪族基團(tuán)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊，其中所述線(xiàn)性環(huán)脂肪族氨基甲酸酯大分子單體的所述環(huán)脂肪族二氨基甲酸酯含有C₁₀至C₁₆環(huán)脂肪族基團(tuán)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊，其中所述線(xiàn)性環(huán)脂肪族氨基甲酸酯大分子單體的所述環(huán)脂肪族二氨基甲酸酯為聚合二醇的活性氫與環(huán)脂肪族二異氰酸酯的反應(yīng)產(chǎn)物，所述環(huán)脂肪族二異氰酸酯選自1,4-環(huán)己烷二異氰酸酯、4,4'-二環(huán)己基甲烷二異氰酸酯或異佛爾酮二異氰酸酯。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊，其中所述線(xiàn)性環(huán)脂肪族氨基甲酸酯大分子單體包括具有平均分子量為450至2,000的聚醚、聚碳酸酯或聚酯鏈的聚合二醇的氨基甲酸酯。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊，其中所述線(xiàn)性環(huán)脂肪族氨基甲酸酯大分子單體包括具有平均分子量為600至1,500的聚醚、聚碳酸酯或聚酯鏈的聚合二醇的所述氨基甲酸酯。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊，其中所述聚合二醇包括聚丙二醇，聚乙二醇，聚丁二醇，含聚碳酸酯基團(tuán)的二醇，或其嵌段共聚物或混合物。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊，其中具有兩個(gè)(甲基)丙烯酸酯端基的所述線(xiàn)性環(huán)脂肪族氨基甲酸酯大分子單體包括兩至十個(gè)環(huán)脂肪族二氨基甲酸酯基團(tuán)，并且重均分子量為1,000至10,000。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊，其中具有兩個(gè)(甲基)丙烯酸酯端基的所述線(xiàn)性環(huán)脂肪族氨基甲酸酯大分子單體以酯化形式含有羥基官能的(甲基)丙烯酸烷酯。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊，其中所述脂肪族引發(fā)劑為光引發(fā)劑，并且所述光引發(fā)劑的量在以所述反應(yīng)混合物的總固體重量計(jì)，0.05至0.5重量％范圍內(nèi)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊，其中所述光引發(fā)劑的量在以所述反應(yīng)混合物的總固體重量計(jì)0.08至0.15重量％范圍內(nèi)。