[發明專利]超精細圖案沉積設備、使用其的超精細圖案沉積法及由該沉積法制造的發光顯示裝置

有效

• 申請號: 201811257713.0
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN109722636B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 方炯錫;樸漢善;林亨俊
• 申請（專利權）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/28
• 分類號: C23C14/28;C23C14/12;C23C14/04;H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 蔡勝有;冷永華

本申請涉及超精細圖案沉積設備、使用其的超精細圖案沉積法及由該積法制的發光顯示裝置。超精細圖案沉積設備包括基底基板、光熱轉換器、源部和光反射器。光熱轉換器容置在基底基板中并將光能轉換成熱能。源部設置在光熱轉換器上。光反射器包括具有側向凹入的下部和從下部突出的上部的開口，以基于光反射器與基底基板之間的折射率差而反射輸入到其的外部光并且將從源部發射的源引導至目標區域。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2017年10月31日提交的韓國專利申請第10-2017-0144257號的權益，該申請如同在此完全闡述一樣通過引用并入本文用于所有目的。

技術領域

本發明涉及超精細圖案沉積設備、使用其的超精細圖案沉積法以及通過超精細圖案沉積法制造的發光顯示裝置。

背景技術

隨著信息技術的發展，作為用戶與信息之間的連接媒介的顯示裝置市場正在增長。因此，越來越多地使用諸如有機發光顯示器、液晶顯示器、電泳顯示器和量子點顯示器的不同類型的顯示裝置。

如上所述的顯示裝置包括顯示面板、驅動顯示面板的驅動器和控制驅動器的控制器。存在用于顯示裝置的不同類型的顯示面板。然而，不同顯示裝置的類似之處在于需要基板和在基板上形成為薄膜的結構來形成顯示面板。

在顯示裝置中，通過使用激光等的圖案轉印設備形成薄膜形式的結構。常規地，已經提出(1)激光誘導熱成像(LITI)圖案化方法，(2)激光誘導圖形化升華(LIPS)圖案化方法等。LITI圖案化方法和LIPS圖案化方法通過使用形成在金屬薄膜中的細孔的陰影掩模來圖案化有機層。

然而，在常規的LITI圖案化方法中，產生了關于顆粒生成的問題，并且當執行分層時難以獲得整齊的邊緣。此外，當存在顆粒時，不形成圖案。在常規的LIPS圖案化方法中，圖案轉印期間需要圖案源與背板之間的接觸，這是麻煩的。因此，為了形成超精細(超精細間距)圖案以增加顯示面板的面積，期望不同于常規設備的沉積設備。

發明內容

一方面，本發明提供了一種超精細圖案沉積設備，其包括基底基板、光熱轉換器和光反射器。光熱轉換器容置在基底基板中并將光能轉換成熱能。在沉積過程開始前將源部設置在光熱轉換器上。光反射器包括具有側向凹入的下部和從下部突出的上部的開口，以基于光反射器與基底基板之間的折射率差而反射輸入到光反射器的外部光并且將從源部發射的源引導至目標區域。

另一方面，本發明提供了一種使用超精細圖案沉積設備的超精細圖案沉積法，所述超精細圖案沉積設備包括：容置在基底基板中并將光能轉換為熱能的光熱轉換器、設置在光熱轉換器上的源部，以及光反射器，所述光反射器具有側向凹入的下部和從下部突出的上部的開口，以基于光反射器與基底基板之間的折射率差而反射輸入到其的外部光并且將從源部發射的源引導至目標區域。超精細圖案沉積法包括：布置超精細圖案沉積設備和目標基板并且使超精細圖案沉積設備和目標基板對準；以及使激光束輻射到基底基板以沉積圖案，使得源沉積在目標基板的子像素的發光區上。

另一方面，本發明提供了一種通過超精細圖案沉積法制造的發光二極管顯示裝置。

又一個方面，本發明提供了一種超精細圖案沉積設備，所述超精細圖案沉積設備包括：基底基板，其包括朝向沉積目標的工作表面；光熱轉換器，其能夠將光能轉換為熱能，設置在基底基板的工作表面上或至少部分地嵌入到基底基板中；光反射器，其配置成反射輸入到其的光以阻礙光穿過工作表面到達超精細圖案沉積設備的外部，其中光熱轉換器配置成在沉積過程期間將熱提供至靠近工作表面設置的源部以形成朝向沉積目標的沉積材料流。在沉積過程期間，光熱轉換器將光轉換成熱以形成加熱圖案從而有效地加熱位于光熱轉換器的預定區域內的源部。因此，方便通過適當地設定加熱圖案(熱分布)和源的圖案(分布)來控制源的沉積，以實現超精細圖案沉積。超精細圖案沉積可以通過布置在工作表面上的引導部的圖案來進一步調整。