[發(fā)明專利]液浸部件及曝光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811255979.1
• 申請日: 2013-12-25
• 公開（公告）號: CN109375473B
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 佐藤真路
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 陳偉;劉偉志

1.一種液浸部件，在液浸曝光裝置中使用，能夠在與射出曝光用光的光學(xué)部件的射出面相對的物體的表面上形成液浸空間，該液浸曝光裝置一邊使襯底相對于曝光用光的光路沿掃描方向移動，一邊對所述襯底的各拍攝區(qū)域依次進(jìn)行曝光，所述液浸部件的特征在于，具有：

第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周圍的第1部分，在所述第1部分上設(shè)有能夠供所述曝光用光通過的第1開口部；和

第2部件，其具有能夠與所述物體的表面相對的第1液體回收部，能夠相對于所述光路在所述第1部分的外側(cè)相對于所述第1部件移動，

所述液浸空間的一部分形成于所述第2部件與所述物體之間，

所述第1液體回收部回收所述第2部件與所述物體之間的液體的至少一部分，

所述第1液體回收部包括多個液體回收口，

所述多個液體回收口沿著四邊形的假想線配置，

所述四邊形在與所述掃描方向平行的第1方向上，在所述曝光用光的光路的兩側(cè)具有頂點(diǎn)，并且在與所述掃描方向正交的第2方向上，在所述曝光用光的光路的兩側(cè)具有頂點(diǎn)。

2.如權(quán)利要求1所述的液浸部件，其特征在于，

所述第1部件具有第1液體供給部，該第1液體供給部配置在所述第1開口部周圍的至少一部分，且能夠與所述物體的表面相對。

3.如權(quán)利要求1所述的液浸部件，其特征在于，

所述第2部件還具有第2液體供給部，該第2液體供給部關(guān)于相對于所述光學(xué)部件的光軸而言的放射方向而配置在所述光路與所述第1液體回收部之間且能夠與所述物體的表面相對。

4.如權(quán)利要求2所述的液浸部件，其特征在于，

所述第2部件還具有第2液體供給部，該第2液體供給部關(guān)于相對于所述光學(xué)部件的光軸而言的放射方向而配置在所述光路與所述第1液體回收部之間且能夠與所述物體的表面相對。

5.如權(quán)利要求3所述的液浸部件，其特征在于，

所述第1液體回收部能夠回收來自所述第2液體供給部的所述液體的至少一部分。

6.如權(quán)利要求3所述的液浸部件，其特征在于，

所述液浸空間的液體的界面關(guān)于相對于所述光學(xué)部件的光軸而言的放射方向，被維持在所述第2液體供給部與所述第1液體回收部之間。

7.如權(quán)利要求1所述的液浸部件，其特征在于，

還具有第2液體回收部，該第2液體回收部能夠回收從所述物體上流入到所述第1部件與所述第2部件之間的間隙中的液體的至少一部分。

8.如權(quán)利要求2所述的液浸部件，其特征在于，

還具有第2液體回收部，該第2液體回收部能夠回收從所述物體上流入到所述第1部件與所述第2部件之間的間隙中的液體的至少一部分。

9.如權(quán)利要求3所述的液浸部件，其特征在于，

還具有第2液體回收部，該第2液體回收部能夠回收從所述物體上流入到所述第1部件與所述第2部件之間的間隙中的液體的至少一部分。

10.如權(quán)利要求7所述的液浸部件，其特征在于，

所述第2液體回收部配置在所述第1部件上。

11.如權(quán)利要求7所述的液浸部件，其特征在于，

所述第1部件還包含配置在所述第1部分的上方的第2部分，

所述第2液體回收部配置在所述第2部分上。

12.如權(quán)利要求1所述的液浸部件，其特征在于，

所述第2部件還具有第1氣體供給部，該第1氣體供給部關(guān)于相對于所述光學(xué)部件的光軸而言的放射方向，配置在所述第1液體回收部的外側(cè)，且能夠與所述物體的表面相對。