[發(fā)明專利]一種顯示面板的制作方法和顯示面板

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201811230471.6
• 申請日: 2018-10-22
• 公開（公告）號: CN109585297A
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊鳳云;卓恩宗
• 申請（專利權(quán)）人: 惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/336
• 分類號: H01L21/336;H01L29/786
• 代理公司: 深圳市百瑞專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44240
• 代理人: 邢濤

本發(fā)明公開了一種顯示面板的制作方法和顯示面板。一種顯示面板的制作方法，包括：在基板上依次沉積一層金屬、緩沖材料和氧化物；通過同一道光罩蝕刻形成第一金屬層、緩沖層和氧化物膜層；在所述氧化物膜層上形成柵極絕緣層、柵極層、源極層和漏極層；在柵極層、源極層和漏極層的上方依次形成鈍化層和透明電極層。本發(fā)明由于通過同一道光罩蝕刻形成第一金屬層、緩沖層和氧化物膜層，因而至少減少了一道光罩,節(jié)省了曝光顯影時間，達(dá)到節(jié)約成本及提升產(chǎn)能的目的。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種顯示面板的制作方法和顯示面板。

背景技術(shù)

隨著科技的發(fā)展和進(jìn)步，液晶顯示器由于具備機身薄、省電和輻射低等熱點而成為顯示器的主流產(chǎn)品，得到了廣泛應(yīng)用。現(xiàn)有市場上的液晶顯示器大部分為背光型液晶顯示器，其包括液晶面板及背光模組(backlightmodule)。液晶面板的工作原理是在兩片平行的玻璃基板當(dāng)中放置液晶分子，并在兩片玻璃基板上施加驅(qū)動電壓來控制液晶分子的旋轉(zhuǎn)方向，以將背光模組的光線折射出來產(chǎn)生畫面。

目前IGZO(銦鎵鋅氧化物)技術(shù)已得到廣泛的研究及應(yīng)用，常見的IGZO結(jié)構(gòu)有三種，BCE(back channel etch，背溝道刻蝕)結(jié)構(gòu)，ESL(etch stopper layer，刻蝕阻擋層)結(jié)構(gòu)，Self-aligned Top Gate(自對準(zhǔn)的頂柵)結(jié)構(gòu)，其中，BCE結(jié)構(gòu)因是背溝道蝕刻，會產(chǎn)生背溝道損壞,影響TFT器件穩(wěn)定性，ESL結(jié)構(gòu)可以對背溝道進(jìn)行保護(hù)，但不適合做短溝道結(jié)構(gòu)，并且有較大的寄生電容,頂柵型可以做短溝道結(jié)構(gòu)并且有極小的寄生電容，但光罩會多一道。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于現(xiàn)有技術(shù)的上述問題，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種減少光罩的顯示面板的制作方法和顯示面板。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種顯示面板的制作方法，包括：

在基板上依次沉積一層金屬、緩沖材料和氧化物；

通過同一道光罩蝕刻形成第一金屬層、緩沖層和氧化物膜層；

在所述氧化物膜層上形成柵極絕緣層、柵極層、源極層和漏極層；

在柵極層、源極層和漏極層的上方依次形成鈍化層和透明電極層。

可選的，所述在所述氧化物膜層上形成柵極絕緣層、柵極層、源極層和漏極層的步驟包括：

在所述氧化物膜層上通過半色調(diào)掩膜形成包括中部、第一側(cè)部、第二側(cè)部以及鏤空部的柵極絕緣層；

所述柵極絕緣層的中部的厚度厚于第一側(cè)部的厚度，所述柵極絕緣層的中部的厚度高于第二側(cè)部的厚度；

所述鏤空部形成在中部和第一側(cè)部，以及中部和第二側(cè)部之間；

在所述柵極絕緣層上金屬濺渡形成第二層金屬，并通過同一道光罩制程對第二層金屬進(jìn)行蝕刻得到柵極層、源極層和漏極層；

形成的所述源極層和漏極層通過所述氧化物膜層連接。

可選的，所述在所述氧化物膜層上形成柵極絕緣層、柵極層、源極層和漏極層的步驟包括：

在氧化物膜層上沉積形成柵極絕緣沉積層，并在柵極絕緣沉積層上沉積形成柵極金屬層；

通過一道光罩制程對柵極絕緣沉積層和柵極金屬層進(jìn)行蝕刻，形成柵極絕緣層和柵極層；

在氧化物膜層上通過一道光罩形成包括中部、第一側(cè)部、第二側(cè)部以及鏤空部的互聯(lián)層；

在互聯(lián)層的上方形成第二層金屬，并對第二層金屬進(jìn)行蝕刻得到漏極層和源極層；

所述鏤空部形成在中部和第一側(cè)部，以及中部和第二側(cè)部之間。