[發(fā)明專利]鉭環(huán)滾花表面粗糙度控制方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811226171.0 | 申請日： | 2018-10-19 |
| 公開（公告）號： | CN109290931A | 公開（公告）日： | 2019-02-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;毛杰 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B29/04 | 分類號： | B24B29/04;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 孫輝 |
| 地址： | 315000 浙江省寧波*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 粗糙度控制 滾花表面 拋光 鉭環(huán) 表面花紋 工件表面 環(huán)件 花紋 工件表面粗糙度 粗糙度檢測 檢查工件 拋光處理 使用性能 粗糙度 滾花 半導(dǎo)體 平整 客戶 | ||
1.一種鉭環(huán)滾花表面粗糙度控制方法，其特征在于，包括：
在滾花后的工件表面進(jìn)行拋光；
拋光后檢查工件上的花紋平面是否一致；
確認(rèn)拋光完成后，對工件表面進(jìn)行粗糙度檢測，確認(rèn)工件表面粗糙度的一致性。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉭環(huán)滾花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述在滾花后的工件表面進(jìn)行拋光包括：
用機床的Y軸方向來控制拋光刀具對工件表面的拋光力度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉭環(huán)滾花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述拋光后檢查工件上的花紋平面是否一致包括：
用移動放大鏡檢查工件上的花紋平面是否一致。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉭環(huán)滾花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述鉭環(huán)滾花表面粗糙度控制方法還包括：
工件上的花紋平面不一致，再次進(jìn)行拋光。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉭環(huán)滾花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述對工件表面進(jìn)行粗糙度檢測包括：
用粗糙度檢測儀對工件表面進(jìn)行粗糙度檢測。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鉭環(huán)滾花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述在滾花后的工件表面進(jìn)行拋光包括：
將砂紙粘在所述拋光刀具上。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鉭環(huán)滾花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述拋光刀具包括刀柄、調(diào)節(jié)組件、拋光刀主體和計量裝置；
所述拋光刀主體通過調(diào)節(jié)組件安裝于所述刀柄上；
所述計量裝置安裝于所述拋光刀主體上用于計量所述拋光刀主體對工件表面的拋光力度。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鉭環(huán)滾花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述調(diào)節(jié)組件包括彈性元件和導(dǎo)向件；
所述彈性元件設(shè)置在所述刀柄與所述拋光刀本體之間，用于調(diào)節(jié)所述拋光刀本體與所述刀柄之間的作用力，以調(diào)節(jié)所述拋光刀主體對工件表面的拋光力度；
所述導(dǎo)向件設(shè)置在所述彈性元件內(nèi)部或者套設(shè)在所述彈性元件外部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的鉭環(huán)滾花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述導(dǎo)向件與所述刀柄滑動連接，且所述導(dǎo)向件與所述刀柄通過限位件限位。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鉭環(huán)滾花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述計量裝置包括刻度尺，所述刻度尺與所述刀柄滑動連接，所述刀柄上設(shè)有與所述刻度尺上刻度線匹配的刻度線。
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