[發明專利]MEMS型全方位地震檢波器

有效

• 申請號: 201811213908.5
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN109283573B
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發明（設計）人: 劉華強
• 申請（專利權）人: 西安明天儀器有限公司
• 主分類號: G01V1/18
• 分類號: G01V1/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種全方位MEMS地震檢波器，包括：正放置MEMS芯片(1)，反放置MEMS芯片(2)，電阻分壓器(3)，差分放大器A(4)，差分放大器B(5)，差分放大器C(6)，加法器(7)，其特征在于：正放置MEMS芯片(1)與反放置MEMS芯片(2)的X軸輸出信號同時進入差分放大器A(4)；正放置MEMS芯片(1)與反放置MEMS芯片(2)的Y軸輸出信號同時進入差分放大器B(5)；正放置MEMS芯片(1)與反放置MEMS芯片(2)的Z軸輸出信號經過電阻分壓器(3)調整進入差分放大器C(6)；差分放大器A(4)和差分放大器B(5)以及差分放大器C(6)的輸出進入加法器(7)，加法器(7)的輸出接入輸出端(8)完成正反放置MEMS芯片信號合成。

2.如權利要求1所述的一種全方位MEMS地震檢波器，其特征在于：利用三軸MEMS芯片在垂直軸方向朝上和朝下放置時，輸出信號幅值相同，相位正好相差180°，只是方向朝上表達1G的加速度值，朝下表達負1G的重力加速度值，正負1G值在輸出電壓上有差值，因此要用電阻分壓方式調到差值很小，有利于差分放大，其它兩軸軸出幅值相同，相位相反，直接進差分放大器，差分放大后的信號經過加法器合成后由輸出端輸出電壓，輸出的信號比單獨的垂直軸(Z軸)信號大很多，而噪聲經過差分放大卻被抑制了許多，實現了提高信噪比的作用，避免三軸同時輸出占用三個采集通道。

3.如權利要求1所述的一種全方位MEMS地震檢波器，其特征在于：其利用兩個三軸MEMS芯片，正反對稱安裝，將正反芯片的三軸信號合成為一個輸出，提高信噪比，避免三軸同時輸出占用三個采集通道。