[發明專利]光刻膠及形成光刻圖案的方法

在審

• 申請號: 201811211128.7
• 申請日: 2018-10-17
• 公開（公告）號: CN111061126A
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 錢曉春;胡春青;馬麗君
• 申請（專利權）人: 常州強力先端電子材料有限公司;常州強力電子新材料股份有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 韓建偉;金田蘊

1.一種光刻膠，其特征在于，包含以下組分：樹脂、光致產酸劑、添加劑和溶劑；其中，所述光致產酸劑為以二苯乙烯為共軛結構的硫鎓鹽類化合物。

2.根據權利要求1所述的光刻膠，其特征在于，所述光致產酸劑具有如通式(Ⅰ)所示的結構：

在上述通式(I)化合物結構中：

R₀和R₁彼此獨立代表氫，或其中R₇，R₈，R₉，R₁₀，R₁₁，R₁₂，R₁₃，R₁₄，R₁₅，R₁₆彼此獨立的代表氫、鹵素原子、R、OR、NRR’、CH₂OH、CH₂OR或CH₂NRR’，其中R或R’彼此獨立的代表含有1～24個碳原子的直鏈或支鏈的烷基或-C₆-C₁₂芳基，R或R’結構中可以含有1～6個非連續的氧、氮或硫元素，R和R’同時存在時其間可以形成一個3～6元的環系結構；優選的，R₀＝R₁＝H，或R₀＝H，R₁＝Ph，R₁₂＝R₁₃＝R₁₄＝R₁₅＝R₁₆＝H，或R₀＝H，R₁＝Ph，R₁₂＝R₁₃＝R₁₅＝R₁₆＝H，R₁₄＝CN，或R₀＝H，R₁＝Ph，R₁₂＝R₁₃＝R₁₅＝R₁₆＝H，R₁₄＝NO₂，或R₀＝H，R₁＝Ph，R₁₂＝R₁₃＝R₁₅＝R₁₆＝H，R₁₄＝F，或R₀＝H，R₁＝Ph，R₁₂＝R₁₃＝R₁₄＝R₁₅＝R₁₆＝F，或R₀＝H，R₁＝Ph，R₁₂＝R₁₃＝R₁₅＝R₁₆＝F，R₁₄＝CH₃，或R₀＝H，R₁＝Ph，R₁₂＝R₁₄＝R₁₆＝F，R₁₃＝R₁₅＝CH₃，或R₀＝R₁＝Ph，R₇＝R₈＝R₉＝R₁₀＝R₁₁＝R₁₂＝R₁₃＝R₁₄＝R₁₅＝R₁₆＝H，或R₀＝R₁＝Ph，R₇＝R₈＝R₉＝R₁₀＝R₁₁＝R₁₂＝R₁₃＝R₁₅＝R₁₆＝H，R₁₄＝CN，或R₀＝R₁＝Ph，R₇＝R₈＝R₉＝R₁₀＝R₁₁＝H，R₁₂＝R₁₃＝R₁₄＝R₁₅＝R₁₆＝F；

硫鎓鹽的取代位置是鄰位、間位或對位；優選為間位和對位；

A代表氫或氰基；

R₂，R₃，R₄，R₅彼此獨立的代表氫、鹵素原子、R、OR、NRR’、CH₂OH、CH₂OR，或CH₂NRR’，其中，R或R’彼此獨立的代表含有1～24個碳原子的直鏈或支鏈的烷基或-C₆-C₁₂芳基，R或R’結構中可以含有1～6個非連續的氧、氮或硫元素，R和R’同時存在時其間可以形成一個3～6元的環系結構；優選的，R₂＝R₃＝R₄＝R₅＝H，或R₂＝R₄＝R₅＝H，R₃＝CH₃，或R₂＝R₅＝H，R₃＝R₄＝CH₃，或R₂＝R₄＝R₅＝H，R₃＝Cl，或R₂＝R₄＝R₅＝H，R₃＝F，或R₂＝R₃＝R₄＝R₅＝F，或R₂＝R₅＝H，R₃＝R₄＝F；

X^ˉ代表陰離子，優選為Cl^ˉ，CF₃SO₃^ˉ，BF₄^ˉ，PF₆^ˉ，SbF₆^ˉ或B(Ph)₄^ˉ；

n取值1～1000之間的整數，優選的，n取值1～100之間的整數，更優選的，n取值1～10之間的整數；

當n＝1時，R₆-Q結構同R₂，R₃，R₄，R₅，代表氫、鹵素原子、R、OR、NRR’、CH₂OH、CH₂OR，或CH₂NRR’，其中，R或R’彼此獨立的代表含有1～24個碳原子的直鏈或支鏈的烷基或-C₆-C₁₂芳基，R或R’結構中可以含有1～6個非連續的氧、氮或硫元素，R和R’同時存在時其間也可以形成一個3～6元的環系結構；優選的，R₆-Q＝H，F，Br，Cl，NO₂，CN，CH₃，甲氧基，乙氧基，丁氧基，芐氧基，己氧基，辛氧基，羥基，乙酰氧基，或其中，R₁₇代表氫、甲基或不同碳原子個數的柔性鏈；

當n取值2或大于2的整數時，-R₆-Q結構代表一個n元聯接基團，-R₆-優選的代表-CH₂-，-CH₂CH₂-，-CH₂CH(OH)CH₂-，-CH₂CH(OR)CH₂-，-CH₂CH(OC(O)R)CH₂-，-CH₂CH₂C(O)OCH₂CH₂-，-CH₂CH(Me)C(O)OCH₂CH₂-，-CH₂CH₂C(O)OCH₂CH₂OCH₂CH₂-，-CH₂CH₂C(O)OCH₂CH₂CH₂-，-CH₂CH₂C(O)OCH₂CH₂CH₂CH₂-；Q代表一個具有2個或2個以上-NHC(O)O-單元的小分子或聚合物基團，優選的，Q代表下列的基團之一：

或者，Q代表一個具有2個或2個以上-C(O)O-單元的小分子或聚合物基團；優選的，Q代表下列的基團之一，其中R₁₁是氫或R：

或者，當n取值2或大于2的整數時，Q結構代表一個含有n元-CH₂CH(OH)-，或-CH₂CH(OR)-單元的小分子或聚合物基團；優選的，Q代表下列的基團之一：