[發(fā)明專利]保護(hù)環(huán)組件及具有該組件的等離子體注入裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811209000.7
• 申請日: 2018-10-17
• 公開（公告）號: CN111063602A
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 長鑫存儲技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01J37/317
• 代理公司: 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 袁禮君;闞梓瑄

本公開提出一種保護(hù)環(huán)組件及具有該組件的等離子體注入裝置，保護(hù)環(huán)組件包括本體以及多個安裝螺絲。本體呈環(huán)狀結(jié)構(gòu)，且具有分別朝向和背向處理腔室的安裝表面和外表面，本體開設(shè)有多條貫穿安裝表面和外表面的狹縫，狹縫被配置為供等離子體穿過，安裝表面開設(shè)有多個安裝孔槽。多個安裝螺絲可拆裝地設(shè)于處理腔室，安裝螺絲具有露出于處理腔室的螺帽，螺帽外周設(shè)有卡環(huán)，卡環(huán)的外徑大于安裝孔槽的孔徑。其中，安裝螺絲的螺帽被配置為卡入安裝孔槽中，且卡環(huán)過盈配合于安裝孔槽的槽壁。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及半導(dǎo)體存儲器制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種保護(hù)環(huán)組件及具有該組件的等離子體注入裝置。

背景技術(shù)

保護(hù)環(huán)(Shield Ring)作為等離子體注入裝置(Plasma Doping，PLAD)的關(guān)鍵組成部件之一，通常安裝在等離子體注入裝置的處理腔室(process chamber)中。等離子體注入裝置的保護(hù)環(huán)通常設(shè)置在法拉第杯上面，保護(hù)環(huán)能夠利用其所開設(shè)的孔洞供等離子體通過，并被法拉第杯讀取。

如圖1和圖2所示，圖1中代表性地示出了一種現(xiàn)有保護(hù)環(huán)的俯視圖；圖2中代表性地示出了圖1中A部分的局部剖視圖。其中，該現(xiàn)有等離子體注入裝置的保護(hù)環(huán)110通過金屬螺絲120固定在處理腔室，在金屬螺絲120鎖固保護(hù)環(huán)110后，需使用保護(hù)蓋130(shieldring cap)扣蓋在金屬螺絲120上，此保護(hù)蓋130由于經(jīng)過BF₃工藝(三氟化硼離子作為摻雜源的離子摻雜和注入工藝)，其表面會產(chǎn)生蝕刻，因此每次保養(yǎng)都需要更換，避免保護(hù)蓋130被擊穿而導(dǎo)致微粒增多和金屬螺絲120裸露而產(chǎn)生放電等問題。

發(fā)明內(nèi)容

本公開的一個主要目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的至少一種缺陷，提供一種無需額外設(shè)置需保養(yǎng)更換的保護(hù)蓋的保護(hù)環(huán)組件。

本公開的另一個主要目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的至少一種缺陷，提供一種具有上述保護(hù)環(huán)組件的等離子體注入裝置。

為實現(xiàn)上述目的，本公開采用如下技術(shù)方案：

根據(jù)本公開的一個方面，提供一種保護(hù)環(huán)組件，安裝于等離子體注入裝置中，所述等離子體注入裝置具有處理腔室。其中，所述保護(hù)環(huán)組件包括本體以及多個安裝螺絲。所述本體呈環(huán)狀結(jié)構(gòu)，且具有分別朝向和背向所述處理腔室的安裝表面和外表面，所述本體開設(shè)有多條貫穿所述安裝表面和所述外表面的狹縫，所述狹縫被配置為供等離子體穿過，所述安裝表面開設(shè)有多個安裝孔槽。多個所述安裝螺絲可拆裝地設(shè)于所述處理腔室，所述安裝螺絲具有露出于所述處理腔室的螺帽，所述螺帽外周設(shè)有卡環(huán)，所述卡環(huán)的外徑大于所述安裝孔槽的孔徑。其中，所述安裝螺絲的所述螺帽被配置為卡入所述安裝孔槽中，且所述卡環(huán)過盈配合于所述安裝孔槽的槽壁。

根據(jù)本公開的其中一個實施方式，所述本體的介于其外表面與所述安裝孔槽的槽底之間的部分的厚度大于1毫米。

根據(jù)本公開的其中一個實施方式，所述本體的介于其外表面與所述安裝孔槽的槽底之間的部分的厚度為3毫米～5毫米。

根據(jù)本公開的其中一個實施方式，所述安裝螺絲的螺帽外周設(shè)有環(huán)形凹槽，所述卡環(huán)設(shè)于所述環(huán)形凹槽，且所述卡環(huán)的外周露出于所述螺帽的外周。

根據(jù)本公開的其中一個實施方式，每個所述安裝螺絲的所述螺帽外周設(shè)有多個所述卡環(huán)，多個所述卡環(huán)沿所述安裝螺絲的軸向間隔分布。

根據(jù)本公開的其中一個實施方式，所述卡環(huán)的材質(zhì)為橡膠。

根據(jù)本公開的其中一個實施方式，多條所述狹縫與多個所述安裝孔槽在所述本體所對應(yīng)的環(huán)狀路徑上間隔均勻地交替分布。

根據(jù)本公開的其中一個實施方式，所述本體上開設(shè)有四條狹縫，四條所述狹縫在所述本體所對應(yīng)的環(huán)狀路徑上間隔均勻分布。

根據(jù)本公開的其中一個實施方式，所述本體的安裝表面開設(shè)有四個所述安裝孔槽，四個所述安裝孔槽在所述本體所對應(yīng)的環(huán)狀路徑上間隔均勻分布。