[發明專利]薄膜晶體管陣列基板和具有其的有機發光顯示裝置

有效

• 申請號: 201811202004.2
• 申請日: 2018-10-16
• 公開（公告）號: CN109727996B
• 公開（公告）日: 2023-07-11
• 發明（設計）人: 許真僖
• 申請（專利權）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H10K59/121;H01L21/77
• 代理公司: 北京市集佳律師事務所 16095
• 代理人: 譚天

1.一種薄膜晶體管陣列基板，其具有第一薄膜晶體管、與所述第一薄膜晶體管的柵電極直接連接的第二薄膜晶體管和電容器、以及與所述電容器連接的第三薄膜晶體管，其中，所述薄膜晶體管陣列基板包括：

設置在覆蓋所述第三薄膜晶體管的有源層的第一柵極絕緣膜上的第一電容器電極；

設置在覆蓋所述第一電容器電極的第二柵極絕緣膜上的所述第二薄膜晶體管的有源層；

設置在覆蓋所述第二薄膜晶體管的有源層的一部分的中間絕緣膜上的所述第二薄膜晶體管的柵電極；以及

設置在所述中間絕緣膜上的并且與所述第一電容器電極交疊的所述電容器的第二電容器電極。

2.根據權利要求1所述的薄膜晶體管陣列基板，還包括：設置在所述第一柵極絕緣膜上的并且與所述第三薄膜晶體管的有源層的一部分交疊的所述第三薄膜晶體管的柵電極，其中，所述第一電容器電極與所述第三薄膜晶體管的所述柵電極間隔開。

3.根據權利要求1所述的薄膜晶體管陣列基板，還包括電容器孔，所述電容器孔對應于所述第一電容器電極和所述第二電容器電極彼此交疊的區域的一部分并且穿過所述第二柵極絕緣膜。

4.根據權利要求1所述的薄膜晶體管陣列基板，其中，所述第一電容器電極和所述第二電容器電極中的一者與所述第一薄膜晶體管的柵電極連接。

5.根據權利要求1所述的薄膜晶體管陣列基板，其中，所述第一薄膜晶體管的有源層設置在與所述第三薄膜晶體管的所述有源層相同的層上；以及所述第一薄膜晶體管的所述柵電極設置在所述第一柵極絕緣膜上并且與所述第一電容器電極連接。

6.根據權利要求4所述的薄膜晶體管陣列基板，其中，所述第一薄膜晶體管的有源層設置在所述第二柵極絕緣膜上，以及所述第一薄膜晶體管的所述柵電極設置在進一步覆蓋所述第一薄膜晶體管的有源層的一部分的所述中間絕緣膜上并且與所述第二電容器電極連接。

7.根據權利要求4所述的薄膜晶體管陣列基板，其中，所述第三薄膜晶體管的所述有源層由多晶硅半導體材料制成，以及所述第二薄膜晶體管的所述有源層由氧化物半導體材料制成。

8.一種有機發光顯示裝置，其具有對應于相應的像素區域的有機發光裝置、向所述有機發光裝置提供驅動電流的第一薄膜晶體管、與所述第一薄膜晶體管的柵電極直接連接的電容器和第二薄膜晶體管、以及與所述電容器連接的第三薄膜晶體管，該有機發光顯示裝置包括：

設置在基板上的所述第三薄膜晶體管的有源層；

覆蓋所述第三薄膜晶體管的所述有源層的第一柵極絕緣膜；

設置在所述第一柵極絕緣膜上的并且與所述第三薄膜晶體管的有源層的一部分交疊的所述第三薄膜晶體管的柵電極；

設置在所述第一柵極絕緣膜上的并且與所述第三薄膜晶體管的所述柵電極間隔開的所述電容器的第一電容器電極；

覆蓋所述第三薄膜晶體管的所述柵電極和所述電容器的所述第一電容器電極的第二柵極絕緣膜；

設置在所述第二柵極絕膜上的所述第二薄膜晶體管的有源層；

設置在覆蓋所述第二薄膜晶體管的有源層的一部分的中間絕緣膜上的所述第二薄膜晶體管的柵電極；以及

設置在所述中間絕緣膜上的并且與所述第一電容器電極交疊的所述電容器的第二電容器電極。

9.根據權利要求8所述的有機發光顯示裝置，還包括電容器孔，所述電容器孔對應于所述第一電容器電極和所述第二電容器電極彼此交疊的區域的一部分并且穿過所述第二柵極絕緣膜。

10.根據權利要求8所述的有機發光顯示裝置，其中，所述第一薄膜晶體管的所述有源層設置在與所述第三薄膜晶體管的所述有源層相同的層上；以及所述第一薄膜晶體管的所述柵電極設置在所述第一柵極絕緣膜上并且與所述第一電容器電極連接。