[發明專利]一種光刻機光點錯位掃描時序調整系統及其調整方法

在審

• 申請號: 201811156719.9
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN110967929A
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 王澤明;鄭天祥;鄧超略;高尊虎;黃文斌
• 申請（專利權）人: 深圳市印之明科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 東莞市神州眾達專利商標事務所(普通合伙) 44251
• 代理人: 劉漢民

在本發明提供一種光刻機光點錯位掃描時序調整系統及其調整方法，MCU按每一條可編程延遲線所處的電路位置和通過的相應光點信號，可獲取每一條可編程延遲線的延時需求；并下達對應的控制指令到每一條可編程延遲線，每一條可編程延遲線根據MCU的控制指令可以適時地改變延遲參數，既可滿足光刻的邏輯時序要求，相對傳統技術采用FPGA光點錯位時序調整，本發明結構簡便，操作簡單而且成本更低。

技術領域

本發明涉及光點錯位掃描時序調整領域，尤指一種光刻機光點錯位掃描時序調整系統及其調整方法。

背景技術

滾筒式激光CTP制版機中：滾筒通過轉動完成圖像的行掃描，激光頭由步進直線電機驅動在眼滾筒邊線沿著軸線運動，完成圖像的場掃描；激光頭負責在掃描過程中發射出激光束對圖像PS板進行光刻形成圖像。因為圖像解晰度高所以光點很小，光束很細；為提高出圖速度，采用多個像素點(16或32或64)并排同時掃描光刻的方法；成排的激光束是由光纖從對應激光器引導過來排列在一起得到的。但是由于激光束直徑比光纖直徑小較多，光纖簡單排在一起會使光點不能緊靠在一起，導致光點之間漏白，同時圖像的解析度也會下降，為解決這個問題，這排光纖不得不以滾筒軸線方向為基準排列后，再在垂直方向依次間距一定的距離，讓光纖線錯開，然后再在滾筒軸線方向讓光纖靠攏，從而縮小光點間距，消除漏白。如此一來，每根光纖的行掃描就不同步了，這就引出了“光點錯位掃描”問題，因為從信號源來的光點數據是并行總線同步輸出的，如果不做處理，其直接驅動激光光源同步發光，則刻錄成的圖像就會在行方向傾斜扭曲失真的，因此必須采取措施對每個光點進行時間上的調整，讓其用時序的關系彌補光纖在空間排列上的不足。

現技術中采用的解決辦法是采用利用FPGA(現場可編程門陣列器件)的大規模時序邏輯電路實現光點錯位時序調整，但是上述方法存在以下缺點：

1.FPGA芯片價格昂貴，不經濟。

2.因產品一個局部功能，要加多FPGA專業的工程師，人力資源浪費大，不同專業間溝通協調消耗時間，拉長開發周期。

發明內容

為解決上述問題，本發明提供一種光刻機光點錯位掃描時序調整系統，用可編程延遲線替代FPGA，用更簡單的技術解決實際問題，而且可大大節省成本。

為實現上述目的之一，本發明采用的技術方案是提供一種光刻機光點錯位掃描時序調整系統，包括由多根光纖并排排列而成的光纖陣列、與光纖數目對應的激光器、與激光器數目對應的可編程延遲線、用于發送光點數據源至可編程延遲線的緩沖數據發送單元、用于下達控制指令至可編程延遲線的MCU；其中所述緩沖數據發送單元的輸出端分別與多個可編程延遲線的輸入端連接，且多個可編程延遲線的輸出端分別與多個激光器的輸入端對應連接；所述MCU的輸出端分別與每個可編程延遲線的控制端口連接，所述多個可編程延遲線的輸出端與多個激光器的輸入端對應連接，所述多個激光器的輸出端與光纖陣列的多個光纖的輸入端對應連接。

進一步，所述MCU的輸出端通過I2C控制總線分別與每個可編程延遲線的控制端口連接。

進一步，所述緩沖數據發送單元包括接收芯片、與可編程延遲線數目對應的緩沖器，其中所述接收芯片的輸出端分別與多個緩沖器的輸入端連接，多個緩沖器的輸出端與多個可編程延遲線的輸入端對應連接。

進一步，所述接收芯片的輸出端通過并行總線分別與多個緩沖器的輸入端連接。

進一步，所述緩沖器為雙口緩存器。

為實現上述目的之二，本發明采用的技術方案是提供一種光刻機光點錯位掃描時序調整系統的調整方法，包括以下步驟：

步驟S1：MCU根據光刻機的實際時序要求下，向每一條可編程延遲線的控制端口發送對應的控制命令；

步驟S2：每一條可編程延遲線接收到對應的控制命令，并根據控制命令調整延遲參數；