[發明專利]激光劃片裝置及應用于劃片裝置的激光等步距切割方法

在審

• 申請號: 201811148319.3
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN109332912A
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 林金明;林靜;張曉宇
• 申請（專利權）人: 無錫恒領科技有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/70;B23K26/08;B23K26/06;B23K26/142
• 代理公司: 浙江杭知橋律師事務所 33256
• 代理人: 王梨華;陳麗霞

1.激光劃片裝置，其特征在于：包括箱體(1)，箱體(1)內設有工作臺(2)，工作臺(2)包括下平臺(203)、支撐塊(202)和上平臺(201)，下平臺(203)上設有支撐塊(202)，支撐塊(202)上設有上平臺(201)，上平臺(201)上設有Z軸運動模組(12)和折射鏡固定板(11)，Z軸運動模組(12)上設有多焦點聚焦頭(18)和激光裂片聚焦頭(20)，折射鏡固定板(11)上設有第一反射鏡(16)和第二反射鏡(19)，上平臺(201)上還設有劃片激光器(9)、第一反射鏡組(6)、裂片激光器(10)和第二反射鏡組(15)，第一反射鏡組(6)用于接收劃片激光器(9)發射的激光，第一反射鏡(16)用于接收第一反射鏡組(6)的反射光，第二反射鏡組(15)用于接收裂片激光器(10)發射的激光，第二反射鏡(19)用于接收第二反射鏡組(15)的反射光；下平臺(203)上設有X/Y軸運動模組(8)，X/Y軸運動模組(8)上設有載物臺(7)，載物臺(7)位于多焦點聚焦頭(18)和激光裂片聚焦頭(20)的下方；X/Y軸運動模組(8)包括X軸運動模組(801)和Y軸運動模組(802)，X軸運動模組(801)設置在下平臺(203)上，X軸運動模組(801)上設有Y軸運動模組(802)，Y軸運動模組(802)上設有載物臺(7)，X軸運動模組(801)上設有X軸位置傳感器(8011)，X軸位置傳感器(8011)用于監測X軸運動模組(801)的位移數據，Y軸運動模組(802)上設有Y軸位置傳感器(8021)，Y軸位置傳感器(8021)用于監測Y軸運動模組(802)的位移數據。

2.根據權利要求1所述的激光劃片裝置，其特征在于：Z軸運動模組(12)上還設有定位板(17)，多焦點聚焦頭(18)和激光裂片聚焦頭(20)設置在定位板(17)上，定位板(17)上還設有第一通孔(1701)和第二通孔(1702)，第一反射鏡(16)的反射光穿過第一通孔(1701)后被多焦點聚焦頭(18)接收，第二反射鏡(19)的反射光穿過第二通孔(1702)后被激光裂片聚焦頭(20)接收。

3.根據權利要求1所述的激光劃片裝置，其特征在于：第一反射鏡組(6)包括第三反射鏡(4)和第四反射鏡(5)，第三反射鏡(4)用于接收劃片激光器(9)發射的激光，第四反射鏡(5)用于接收第三反射鏡(4)的反射光，第一反射鏡(16)用于接收第四反射鏡(5)的反射光。

4.根據權利要求1所述的激光劃片裝置，其特征在于：第二反射鏡組(15)包括第五反射鏡(13)和第六反射鏡(14)，第五反射鏡(13)用于接收裂片激光器(10)發射的激光，第六反射鏡(14)用于接收第五反射鏡(13)的反射光，第二反射鏡(19)用于接收第六反射鏡(14)的反射光。

5.根據權利要求1所述的激光劃片裝置，其特征在于：工作臺(2)上設有鋼構機架(3)，鋼構架構包括墊腳(305)、下框架(304)、底板(303)、立柱(302)和上框架(301)，墊腳(305)上設有下框架(304)，下框架(304)通過立柱(302)與上框架(301)連接，上框架(301)與工作臺(2)連接，下框架(304)上設有底板(303)；工作臺(2)為大理石制成的工作臺(2)，墊腳(305)的數量為4個，立柱(302)的數量為4個。

6.根據權利要求1所述的激光劃片裝置，其特征在于：箱體(1)包括箱蓋(101)、上箱體(102)和下箱體(103)，箱蓋(101)與上箱體(102)鉸接，上箱體(102)上設有開口(1021)，工作臺(2)設置在上箱體(102)內，上箱體(102)與下箱體(103)連接。