[發明專利]頂針結構

在審

• 申請號: 201811132394.0
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN110955117A
• 公開（公告）日: 2020-04-03
• 發明（設計）人: 邢磊
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本發明提供一種頂針結構，包括：頂針柱；第一頂針帽，與頂針柱的頂部相連接；第二頂針帽，位于第一頂針帽的上方及外圍，且與第一頂針帽或頂針柱可拆卸連接。本發明的頂針結構通過在頂針柱的頂部設置第一頂針帽及第二頂針帽兩個頂針帽，且第二頂針帽位于第一頂針帽的上方及外圍，并與第一頂針帽或頂針柱可拆卸連接；在初始使用時，第二頂針帽用于支撐晶圓，當第二頂針帽磨損時，將第二頂針帽取下，即可使用第一頂針帽支撐晶圓；本發明的頂針結構既可滿足設備端對晶圓支撐的需求，又可以在位于外部的第二頂針帽磨損時使用第一頂針帽繼續工作，不影響正常跑貨生產，從而提高產能。

技術領域

本發明屬于集成電路技術領域，特別是涉及一種頂針結構。

背景技術

在現有的光刻設備中，用于承載晶圓12的晶圓承載盤11的下方一般有3個頂針10，如圖1所示。所述頂針結構10一般包括頂針柱101及與頂針柱101頂部相連接的頂針帽102，所述頂針帽102可以與所述頂針柱101一體固定連接，如圖2所示，也可以與所述頂針柱101可拆卸連接，如圖3所示。

在產品生產過程中，所述頂針帽102很容易磨損，若所述頂針帽102出現磨損，即如圖4所示的一所述頂針結構10的所述頂針帽102出現磨損處104時，所述頂針結構10很容易對所述晶圓12造成劃傷，此時，需要更換所述頂針結構10。對于所述頂針帽102與所述頂針柱101一體固定連接的所述頂針結構10，需要將整個所述頂針結構10全部替換掉，這必然會造成耗材浪費；對于所述頂針帽102與所述頂針柱101可拆卸連接的所述頂針結構10，雖然可以只更換磨損的所述頂針帽102，但由于所述頂針磨102更換頻繁，需要有足夠的備件，否則斷料會導致設備長時間停機，從而影響產能。

發明內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本發明的目的在于提供一種頂針結構，用于解決現有技術中頂針帽磨損時需要更換整根頂針結構而導致的耗材浪費的問題，以及需要頻繁更換頂針帽時斷料容易導致設備長時間停機，從而影響產能的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本發明提供一種頂針結構，所述頂針結構包括：

頂針柱；

第一頂針帽，與所述頂針柱的頂部相連接；

第二頂針帽，位于所述第一頂針帽的上方及外圍，且與所述第一頂針帽或所述頂針柱可拆卸連接。

作為本發明的一種優選方案，所述第二頂針帽與所述第一頂針帽經由螺紋可拆卸連接。

作為本發明的一種優選方案，所述第二頂針帽的高度大于等于1.5厘米且小于等于3厘米，所述第二頂針帽的寬度大于等于1.5厘米且小于等于2厘米。

作為本發明的一種優選方案，所述第一頂針帽的頂部與所述第二頂針帽的頂部的高度差大于0厘米且小于等于3厘米。

作為本發明的一種優選方案，所述第一頂針帽的上部及所述第二頂針帽的上部均為錐形。

作為本發明的一種優選方案，所述第二頂針帽與所述頂針柱經由螺紋可拆卸連接。

作為本發明的一種優選方案，所述第一頂針帽與所述頂針柱一體連接。

作為本發明的一種優選方案，所述第一頂針帽與所述頂針柱經由螺紋可拆卸連接。

作為本發明的一種優選方案，所述第一頂針帽包括第二頂帽部及第二連接部，其中，所述第二頂帽部與所述第二連接部的頂部一體連接。

作為本發明的一種優選方案，所述頂針柱的高度大于0厘米且小于等于10厘米，所述頂針柱的寬度大于等于1.5厘米且小于等于3厘米；所述第一頂針帽的寬度大于0厘米且小于等于1.5厘米，所述第一頂針帽的高度大于0厘米且小于等于2厘米。