[發明專利]微機電泵的制造方法

有效

• 申請號: 201811079811.X
• 申請日: 2018-09-17
• 公開（公告）號: CN110902644B
• 公開（公告）日: 2023-01-10
• 發明（設計）人: 莫皓然;余榮侯;張正明;戴賢忠;廖文雄;黃啟峰;韓永隆;陳宣愷
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強

一種微機電泵的制造方法，包含以下步驟：(a)提供第一基板，將第一基板薄化至第一厚度；(b)于第一基板形成第一氧化層，且第一基板蝕刻出至少一進氣孔；(c)提供第二基板，將第二基板薄化至第二厚度；(d)于第二基板形成第二氧化層，并于第二基板上蝕刻出穿孔；(e)將第二基板結合至第一基板，且第一氧化層位于第一基板與第二基板之間，進氣孔與穿孔錯位；(f)提供第三基板，將第三基板薄化至第三厚度，及于第三基板蝕刻出至少一氣體通道；(g)于第三基板設置壓電組件；(h)將第三基板結合至第二基板，且第二氧化層位于第二基板與第三基板之間，氣體通道與穿孔錯位。

【技術領域】

本案是關于一種微機電泵的制造方法，尤指一種通過半導體制程來制作微機電泵的制造方法。

【背景技術】

目前于各領域中無論是醫藥、電腦科技、打印、能源等工業，產品均朝精致化及微小化方向發展，其中微泵浦、噴霧器、噴墨頭、工業打印裝置等產品所包含的用以輸送流體的泵構為其關鍵元件，是以，如何借創新結構突破其技術瓶頸，為發展的重要內容。

隨著科技的日新月異，流體輸送裝置的應用上亦愈來愈多元化，舉凡工業應用、生醫應用、醫療保健、電子散熱等等，甚至近來熱門的穿戴式裝置皆可見它的蹤影，可見傳統的泵已漸漸有朝向裝置微小化、流量極大化的趨勢。

然而，目前微型化的泵雖然持續地改良使其微小化，但仍舊無法突破毫米等級進而將泵縮小到微米等級，因此如何將泵縮小到微米等級并且將其完成為本案所欲發明的主要課題。

【發明內容】

本案的主要目的在于提供一種微機電泵的制造方法，用以制造一納米等級的微機電泵，來減少體積對于泵的限制。

為達上述目的，本案的較廣義實施態樣為提供一種微機電泵的制造方法，包含以下步驟：

(a)提供一第一基板，將該第一基板薄化至一第一厚度；

(b)于該第一基板形成一第一氧化層，且該第一基板蝕刻出至少一進氣孔；

(c)提供一第二基板，將該第二基板薄化至一第二厚度；

(d)于該第二基板形成一第二氧化層，并于該第二基板上蝕刻出一穿孔；

(e)將該第二基板結合至該第一基板，且該第一氧化層位于該第一基板與該第二基板之間，該進氣孔與該穿孔錯位；

(f)提供一第三基板，將該第三基板薄化至一第三厚度，及于該第三基板蝕刻出至少一氣體通道；

(g)于該第三基板設置一壓電組件；

(h)將該第三基板結合至該第二基板，且該第二氧化層位于該第二基板與該第三基板之間，該氣體通道與該穿孔錯位。

【附圖說明】

圖1為本案微機電泵的制造方法的流程示意圖。

圖2為本案微機電泵的剖面示意圖。

圖3為本案微機電泵的壓電組件的制造流程圖。

圖4A至圖4C為本案微機電泵的作動示意圖。

圖5為圖2中本案微機電泵的第三基板俯視角度視得示意圖。

【具體實施方式】

體現本案特征與優點的一些典型實施例將在后段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的范圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。