[發(fā)明專利]一種溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811063005.3 | 申請日： | 2018-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN109163842A | 公開（公告）日： | 2019-01-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 董樹榮;許紅升;軒偉鵬;陳金凱;駱季奎 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江大學(xué) |
| 主分類號： | G01L9/08 | 分類號： | G01L9/08;G01L19/04 |
| 代理公司： | 杭州天勤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33224 | 代理人： | 曹兆霞 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 鈮酸鋰單晶 聲表面波 壓電薄膜 壓強傳感器 無線無源 溫度自補償 寬量程 傳感單元 密閉蓋 諧振器 壓電層 單端 壓強 電氣連接 密閉腔體 微帶天線 檢測 覆蓋 | ||
1.一種溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器，其特征在于：包括：
作為壓電層的鈮酸鋰單晶壓電薄膜；
形成在所述鈮酸鋰單晶壓電薄膜上的聲表面波傳感單元，每個聲表面波傳感單元包括形成在所述鈮酸鋰單晶壓電薄膜上的單端諧振器、與所述單端諧振器電氣連接的微帶天線；
覆蓋在所述鈮酸鋰單晶壓電薄膜上的密閉蓋，所述密閉蓋與所述鈮酸鋰單晶壓電薄膜形成密閉腔體。
2.如權(quán)利要求1所述的溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器，其特征在于：
所述鈮酸鋰單晶壓電薄膜的厚度為30～100um。
3.如權(quán)利要求1所述的溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器，其特征在于：
所述鈮酸鋰單晶壓電薄膜的厚度為30～50um。
4.如權(quán)利要求2或3所述的溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器，其特征在于：
所述鈮酸鋰單晶壓電薄膜的表面粗糙度小于1nm。
5.如權(quán)利要求1所述的溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器，其特征在于：
所述單端諧振器包括叉指換能器和反射柵。
6.如權(quán)利要求5所述的溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器，其特征在于：
所述單端諧振器的電極材料為鋁、金、鎢、鉬、銅、鉻、鈦中的至少一種。
7.如權(quán)利要求5所述的溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器，其特征在于：
所述單端諧振器的電極厚度100～300nm。
8.如權(quán)利要求1所述的溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器，其特征在于：
所述密閉蓋的材質(zhì)為玻璃，腔體深度為100～200um。
9.如權(quán)利要求1所述的溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器，其特征在于：
所述密閉蓋通過陶瓷燒結(jié)方式制備，密閉蓋的材料為氧化鋁、氧化鋯中的一種，應(yīng)用于高溫環(huán)境壓強傳感。
10.如權(quán)利要求1所述的溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器，其特征在于：
所述鈮酸鋰單晶壓電薄膜的厚度為50um，所述單端諧振器的電極材料為金，厚度為120nm，所述密閉蓋由玻璃制備，腔體深度為200um。
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