[發明專利]一種晶圓流片用切割裝置

在審

• 申請號: 201811060250.9
• 申請日: 2018-09-12
• 公開（公告）號: CN108922859A
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發明（設計）人: 王昌華
• 申請（專利權）人: 江蘇英銳半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/304
• 代理公司: 常州市權航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

本發明涉及晶圓流片生產附屬裝置的技術領域，特別是涉及一種晶圓流片用切割裝置，其無需工作人員手按材料進行固定，提高安全效果；同時增強材料切割時的固定效果，提高使用可靠性；且方便后續對工作臺上遺留的粉屑進行清潔，提高使用性；包括工作臺、切割機和底座，切割機輸出端上設置有切刀；還包括第一輔助件、第一調節件、第一壓板、第二輔助件、第二調節件和第二壓板，第一調節件設置在左滑塊頂端，第二輔助件輸出端與第二調節件連接；還包括第二固定件和三組第一固定件，第二固定件設置在第二壓板上；還包括放置板和兩組提手，工作臺頂端設置有安置槽，放置板設置在安置槽內部，兩組提手分別設置在放置板左右兩端上。

技術領域

本發明涉及晶圓流片生產附屬裝置的技術領域，特別是涉及一種晶圓流片用切割裝置。

背景技術

眾所周知，晶圓流片用切割裝置是一種用于晶圓流片生產過程中，對其進行切割，以便后續進行加工的輔助裝置，其在晶圓流片生產附屬領域中得到廣泛的使用；現有的晶圓流片用切割裝置包括工作臺、切割機和底座，工作臺設置在底座頂端，切割機設置在工作臺頂端右半區域上，并在切割機輸出端上設置有切刀；現有的晶圓流片用切割裝置使用時只需將材料放置在工作臺上，并使其需要切割的區域位于切刀正下方，然后手按材料進行固定，同時控制切割機帶動切刀向下移動，對材料進行切割即可；現有的晶圓流片用切割裝置使用中發現，切割過程中工作人員手與切刀間的距離較近，導致其安全效果較差；并且其單純依靠手按進行固定，固定效果有限，使用可靠性有限；且后續還需使用工具對工作臺上遺留的粉屑進行清潔，較為麻煩，從而導致其使用性有限。

發明內容

為解決上述技術問題，本發明提供一種可無需工作人員手按材料進行固定，提高安全效果；同時增強材料切割時的固定效果，提高使用可靠性；且方便后續對工作臺上遺留的粉屑進行清潔，提高使用性的晶圓流片用切割裝置。

本發明的一種晶圓流片用切割裝置，包括工作臺、切割機和底座，工作臺設置在底座頂端，切割機設置在工作臺頂端右半區域上，并在切割機輸出端上設置有切刀；還包括第一輔助件、第一調節件、第一壓板、第二輔助件、第二調節件和第二壓板，所述底座頂端左前區域和左后區域上均設置有左滑槽，并在左滑槽內設置有左滑塊，所述第一調節件設置在左滑塊頂端，所述第一輔助件設置在底座上，且第一輔助件輸出端與第一調節件連接，所述第一壓板位于工作臺上方，且切割機位于第一壓板右側，所述第一調節件與第一壓板連接，底座頂端右前區域和右后區域上均設置有右滑槽，并在右滑槽內設置有右滑塊，所述第二調節件設置在右滑塊頂端，所述第二輔助件設置在底座上，且第二輔助件輸出端與第二調節件連接，所述第二壓板位于工作臺上方，且切割機位于第二壓板左側，所述第二調節件與第二壓板連接；還包括第二固定件和三組第一固定件，所述第二固定件設置在第二壓板上，并在第二壓板底端左半區域上設置有第二放置槽，且所述第二固定件輸出端位于第二放置槽內，所述三組第一固定件分別設置在第一壓板左半區域、右半區域和中部上，并在第一壓板底端左半區域、右半區域和中部處均設置有第一放置槽，且所述三組第一固定件輸出端分別位于三組第一放置槽內；還包括放置板和兩組提手，所述工作臺頂端設置有安置槽，放置板設置在安置槽內部，所述兩組提手分別設置在放置板左右兩端上。

本發明的一種晶圓流片用切割裝置，所述第一輔助件包括兩組左支板和兩組左伸縮電機，第二輔助件包括兩組右支板和兩組右伸縮電機，所述兩組左支板分別設置在底座頂端左前側和左后側上，兩組左伸縮電機分別設置在兩組左支板右端，所述左伸縮電機的右部輸出端上設置有左驅動桿，且左驅動桿右端與第一調節件左端連接，所述兩組右支板分別設置在底座頂端右前側和右后側上，兩組右伸縮電機分別設置在兩組右支板左端，所述右伸縮電機的左部輸出端上設置有右驅動桿，且右驅動桿左端與第二調節件右端連接。