[發明專利]一種晶圓流片用切割裝置

在審

• 申請號: 201811060250.9
• 申請日: 2018-09-12
• 公開（公告）號: CN108922859A
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發明（設計）人: 王昌華
• 申請（專利權）人: 江蘇英銳半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/304
• 代理公司: 常州市權航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

1.一種晶圓流片用切割裝置，包括工作臺（1）、切割機（2）和底座（3），工作臺設置在底座頂端，切割機設置在工作臺頂端右半區域上，并在切割機輸出端上設置有切刀（4）；其特征在于，還包括第一輔助件、第一調節件（5）、第一壓板（6）、第二輔助件（7）、第二調節件和第二壓板，底座頂端左前區域和左后區域上均設置有左滑槽，并在左滑槽內設置有左滑塊（8），第一調節件設置在左滑塊頂端，第一輔助件設置在底座上，且第一輔助件輸出端與第一調節件連接，第一壓板位于工作臺上方，且切割機位于第一壓板右側，第一調節件與第一壓板連接，底座頂端右前區域和右后區域上均設置有右滑槽，并在右滑槽內設置有右滑塊（9），第二調節件設置在右滑塊頂端，第二輔助件設置在底座上，且第二輔助件輸出端與第二調節件連接，第二壓板位于工作臺上方，且切割機位于第二壓板左側，第二調節件與第二壓板連接；還包括第二固定件（10）和三組第一固定件，第二固定件設置在第二壓板上，并在第二壓板底端左半區域上設置有第二放置槽，且第二固定件輸出端位于第二放置槽內，三組第一固定件分別設置在第一壓板左半區域、右半區域和中部上，并在第一壓板底端左半區域、右半區域和中部處均設置有第一放置槽，且三組第一固定件輸出端分別位于三組第一放置槽內；還包括放置板（11）和兩組提手（12），工作臺頂端設置有安置槽，放置板設置在安置槽內部，兩組提手分別設置在放置板左右兩端上。

2.如權利要求1所述的一種晶圓流片用切割裝置，其特征在于，所述第一輔助件包括兩組左支板（13）和兩組左伸縮電機，第二輔助件包括兩組右支板和兩組右伸縮電機（14），兩組左支板分別設置在底座頂端左前側和左后側上，兩組左伸縮電機分別設置在兩組左支板右端，左伸縮電機的右部輸出端上設置有左驅動桿（15），且左驅動桿右端與第一調節件左端連接，兩組右支板分別設置在底座頂端右前側和右后側上，兩組右伸縮電機分別設置在兩組右支板左端，右伸縮電機的左部輸出端上設置有右驅動桿，且右驅動桿左端與第二調節件右端連接。

3.如權利要求2所述的一種晶圓流片用切割裝置，其特征在于，所述第一調節件包括兩組第一伸縮電機（16），第二調節件包括兩組第二伸縮電機（17），兩組第一伸縮電機分別設置在兩組左滑塊頂端，并在兩組第一伸縮電機的頂部輸出端上均設置有第一驅動桿，且兩組第一驅動桿頂端分別與第一壓板底端前后兩側連接，兩組第二伸縮電機分別設置在兩組右滑塊頂端，并在兩組第二伸縮電機的頂部輸出端上均設置有第二驅動桿（18），且兩組第二驅動桿頂端分別與第二壓板底端前后兩側連接。

4.如權利要求3所述的一種晶圓流片用切割裝置，其特征在于，所述第一固定件包括第一螺紋桿（19）、第一轉動塊（20）和第一圓形固定板（21），第二固定件包括第二螺紋桿（22）、第二轉動塊（23）和第二圓形固定板（24），第一壓板左半區域、右半區域和中部均設置有第一通孔，并在第一通孔內側壁上設置有與第一螺紋桿外螺紋結構相匹配的內螺紋結構，第一螺紋桿穿過并螺裝在第一通孔上，第一圓形固定板位于第一放置槽內，且第一圓形固定板頂端與第一螺紋桿底端連接，第一轉動塊設置在第一螺紋桿頂端，第二壓板左半區域上設置有第二通孔，并在第二通孔內側壁上設置有與第二螺紋桿外螺紋結構相匹配的內螺紋結構，第二螺紋桿穿過并螺裝在第二通孔上，第二圓形固定板位于第二放置槽內，且第二圓形固定板頂端與第二螺紋桿底端連接，第二轉動塊設置在第二螺紋桿頂端。

5.如權利要求4所述的一種晶圓流片用切割裝置，其特征在于，所述左滑槽與右滑槽相通。

6.如權利要求5所述的一種晶圓流片用切割裝置，其特征在于，還包括左防滑板（25）和右防滑板（26），左防滑板和右防滑板分別設置在第一壓板底端和第二壓板底端上。

7.如權利要求6所述的一種晶圓流片用切割裝置，其特征在于，還包括第二圓形防滑板（27）和三組第一圓形防滑板（28），右防滑板底端左半區域和左防滑板底端左半區域、右半區域和中部上分別設置有右放置槽和三組左放置槽，第二圓形防滑板和三組第一圓形防滑板分別位于右放置槽和三組左放置槽內，且第二圓形防滑板和三組第一圓形防滑板頂端分別與第二圓形固定板和三組第一圓形固定板底端連接。