[發明專利]具有類柱狀晶的鋯酸釓薄膜及其制備方法

有效

• 申請號: 201811037999.1
• 申請日: 2018-09-06
• 公開（公告）號: CN109023300B
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 劉斌;朱昌華;王多金;楊光;陳宏飛;高彥峰
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: C23C16/40
• 分類號: C23C16/40;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/48
• 代理公司: 上海瀚橋專利代理事務所(普通合伙) 31261
• 代理人: 曹芳玲;鄭優麗

1.一種鋯酸釓薄膜的制備方法，其特征在于，所述鋯酸釓薄膜的形貌為類柱狀晶，所述鋯酸釓薄膜中釓與鋯原子比為（0.19～1.72）：1；

所述的鋯酸釓薄膜的制備方法包括：

（1）分別將釓的有機鹽和鋯的有機鹽加熱至250～300℃和320～380℃，得到前驅體氣體a和前驅體氣體b，所述釓的有機鹽為：2、2、6、6四甲基3、5庚二酮釓和/或乙酰丙酮釓；所述鋯的有機鹽為：2、2、6、6四甲基3、5庚二酮鋯和/或乙酰丙酮鋯；

（2）通入第一載氣與前驅體氣體a形成混合氣體A，通入第二載氣與前驅體氣體b形成混合氣體B；

（3）再將混合氣體A和混合氣體B混合后再與反應氣體混合，得到混合氣體C；

（4）將置于反應腔體內的反應基片升溫至700～1000℃并進行激光輻照，然后將混合氣體C通過噴頭噴向反應基片開始反應10～20分鐘，得到所述鋯酸釓薄膜。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述鋯酸釓薄膜的熱導率為0.92～0.96 W/（m?K）。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述釓的有機鹽和鋯的有機鹽的摩爾比為（0.2～1.4）：1。

4.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述釓的有機鹽和鋯的有機鹽的摩爾比為（0.5～1.4）：1。

5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述加熱的升溫速率為10～15℃/分鐘。

6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述第一載氣為Ar氣，流量為0～50ml/分鐘；所述第二載氣為Ar氣，流量為10～50 ml/分鐘。

7.根據權利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述混合氣體A和混合氣體B的總流量為40～80ml/分鐘。

8.根據權利要求7所述的制備方法，其特征在于，所述混合氣體A和混合氣體B的總流量為60ml/分鐘。

9.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述反應氣體為O₂，流量為160～190ml/分鐘。

10.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述激光輻照的功率為0～160 W/cm²；所述反應腔體的總壓為700～1000 Pa。

11.根據權利要求10所述的制備方法，其特征在于，所述激光輻照的功率為40～120 W/cm²。

12.根據權利要求1-11中任一項所述的制備方法，其特征在于，所述噴頭和反應基片的距離為20～40 mm。