[發明專利]基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片及制作方法在審
| 申請號： | 201811029121.3 | 申請日： | 2018-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN110878250A | 公開（公告）日： | 2020-03-13 |
| 發明（設計）人： | 吳炫燁;關一民 | 申請（專利權）人： | 上海新微技術研發中心有限公司 |
| 主分類號： | C12M1/34 | 分類號： | C12M1/34;C12M1/00 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 羅泳文 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定區*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 結構 微流控 dpcr 原位 芯片 制作方法 | ||
1.一種基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片，其特征在于，包括：
微流道層，所述微流道層中形成有微流道；
微通孔層，所述微通孔層中形成有多個微通孔，所述多個微通孔沿所述微流道的走向排布，且所述微通孔與所述微流道連通；
第一封閉層，密封覆蓋于所述微通孔層上，所述第一封閉層為透氣而不透液的封閉層；以及
第二封閉層，密封覆蓋于所述微流道層上，所述第二封閉層中形成有與所述微流道連通的注入口。
2.根據權利要求1所述的基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片，其特征在于：液相dPCR試劑通過所述注入口進入所述微流道，基于所述第一封閉層的透氣而不透液，通過壓力將所述液相dPCR試劑充滿每個所述微通孔。
3.根據權利要求1所述的基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片，其特征在于：所述微流道的寬度不小于所述微通孔的孔徑。
4.根據權利要求1所述的基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片，其特征在于：所述微流道層及所述微通孔層分別形成于剛性基底的相對的第一面及第二面，且所述微通孔與所述微流道連通。
5.根據權利要求1所述的基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片，其特征在于：
所述微通孔層包括剛性基底，所述微通孔貫穿所述剛性基底；
所述微流道層包括光敏材料層，結合于所述剛性基底表面，所述微流道貫穿所述光敏材料層以與所述微通孔連通。
6.根據權利要求1所述的基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片，其特征在于：所述第一封閉層的材質包括聚二甲基硅氧烷PDMS。
7.根據權利要求6所述的基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片，其特征在于：所述二甲基硅氧烷PDMS與所述微通孔層通過氧等離子體處理后化學鍵合。
8.根據權利要求1所述的基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片，其特征在于：所述第二封閉層的材質包括聚二甲基硅氧烷PDMS及光刻材料中的一種。
9.根據權利要求1所述的基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片，其特征在于：所述微流道在所述微流道層中呈往返曲折延伸。
10.一種基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片的制作方法，其特征在于，包括步驟：
1)提供一剛性基底，所述剛性基底包括相對的第一面及第二面；
2)于所述剛性基底的第一面刻蝕出微溝道；
3)于所述剛性基底的第二面刻蝕出多個微通孔，所述多個微通孔沿所述微流道的走向排布，且所述微通孔與所述微流道連通；
4)于所述剛性基底的微通孔上密封覆蓋第一封閉層，所述第一封閉層為透氣而不透液的封閉層，于所述剛性基底的微流道上密封覆蓋第二封閉層，所述第二封閉層中形成有與所述微流道連通的注入口。
11.根據權利要求10所述的基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片的制作方法，其特征在于：液相dPCR試劑通過所述注入口進入所述微流道，基于所述第一封閉層的透氣而不透液，通過壓力將所述液相dPCR試劑充滿每個所述微通孔。
12.根據權利要求10所述的基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片的制作方法，其特征在于：所述第一封閉層的材質包括聚二甲基硅氧烷PDMS。
13.根據權利要求12所述的基于通孔結構和微流控的dPCR原位芯片的制作方法，其特征在于：所述第二封閉層的材質包括聚二甲基硅氧烷PDMS，步驟4)包括：同時對所述剛性基底具有微流道的第一面及具有微通孔的第二面進行氧等離子體處理，然后將所述第二封閉層與所述第一封閉層同時與所述剛性基底進行化學鍵合。
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