[發明專利]硅棒的自動點膠固化系統有效
| 申請號: | 201810945918.1 | 申請日: | 2018-08-20 |
| 公開(公告)號: | CN108816670B | 公開(公告)日: | 2021-05-18 |
| 發明(設計)人: | 沈皓然 | 申請(專利權)人: | 蘇州高登威科技股份有限公司 |
| 主分類號: | B05C5/02 | 分類號: | B05C5/02;B05C9/14;B05C13/02 |
| 代理公司: | 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 楊林潔 |
| 地址: | 215000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 自動 固化 系統 | ||
本發明提供一種硅棒的自動點膠固化系統,包括硅棒本體上料裝置、基板上料裝置、固定夾具上料裝置、點膠室、初步固化裝置二次固化裝置、控制單元、設于初步固化裝置的初步固化出口與固定夾具上料裝置的固定夾具上料端之間的拆卸轉送裝置,拆卸轉送裝置包括將硅棒與固定夾具相拆卸且將硅棒輸送至二次固化裝置的第一機械手單元、將固定夾具輸送至固定夾具上料端的第一輸送單元,第一機械手單元、第一輸送單元均與控制單元通訊連接;一方面,使整個硅片的加工過程無需人工操作,以實現硅棒的自動點膠與固化,節約了人力成本且能夠避免在生產過程中由于人為的操作而導致剛生產出來的硅片的損壞;另一方面,能夠實現固定夾具的重復利用。
技術領域
本發明涉及一種單晶硅粘接機,尤其涉及一種硅棒的自動點膠固化系統。
背景技術
在生產制造硅片時,需要將用來固定硅棒的固定夾具、基板以及硅棒通過膠水按順序粘接起來。目前,一般所述固定夾具、基板以及硅棒的粘接都是通過人工來完成的,使得硅片的生產效率低、人工成本比較高,不利于實現硅片的大規模生產;
同時,在所述硅片剛剛生產出來時,膠水尚未完全凝固,此時,粘接在基板上的硅片很容易因外力(例如操作員工的誤碰、搬運過程與其他物體的輕輕碰撞)的作用而歪斜,降低硅片的合格率。
有鑒于此,有必要提供一種新的硅棒的自動點膠固化系統以解決上述問題。
發明內容
本發明的目的在于提供一種硅棒的自動點膠固化系統。
為實現上述發明目的,本發明采用如下技術方案:一種硅棒的自動點膠固化系統,包括提供硅棒本體的硅棒本體上料裝置、提供基板的基板上料裝置、提供固定夾具的固定夾具上料裝置、用以將位于固定夾具內的基板與硅棒本體粘接在一起形成硅棒的點膠室、與所述點膠室的點膠出口相連接且用以對硅棒進行初步固化的初步固化裝置、對經初步固化裝置初步固化后的硅棒進行二次固化的二次固化裝置以及控制單元,所述硅棒的自動點膠固化系統還包括設于所述初步固化裝置的初步固化出口與所述固定夾具上料裝置的固定夾具上料端之間的拆卸轉送裝置,所述拆卸轉送裝置包括將硅棒與固定夾具相拆卸且將所述硅棒輸送至二次固化裝置的第一機械手單元、將所述固定夾具輸送至所述固定夾具上料端的第一輸送單元,所述第一機械手單元、第一輸送單元均與所述控制單元通訊連接。
作為本發明進一步改進的技術方案,所述固定夾具包括底壁、設于所述底壁寬度方向的相對兩端的側壁;所述第一機械手單元包括第一支架、設于所述第一支架上的第一驅動組件、固定于所述第一驅動組件上且位于所述第一輸送單元上方的第一固定板、設于所述第一固定板下方的若干第一卡爪組,所述第一固定板的形狀與所述固定夾具的形狀相匹配,所述基板的長度方向上的兩側凹設有與所述第一卡爪組相配合的第一凹槽。
作為本發明進一步改進的技術方案,每一所述第一卡爪組包括固定于所述第一固定板下方且沿所述基板的寬度方向延伸的第一導向肋、滑動連接于所述第一導向肋上的兩個第一卡爪;所述第一機械手單元還包括用以驅動每一所述第一卡爪組上的兩個所述第一卡爪沿所述第一導向肋移動并定位所述第一卡爪的第一驅動電機。
作為本發明進一步改進的技術方案,所述第一卡爪組的數量為兩個;所述第一機械手單元還包括連接兩個所述第一卡爪組上相對應的第一卡爪的連接板。
作為本發明進一步改進的技術方案,所述第一驅動組件包括固定于所述第一支架上且自所述第一輸送單元向二次固化裝置延伸的第一齒條、與所述第一支架滑動連接的第一導向板、固定于所述第一導向板上與所述第一齒條相配合的第一驅動件、固定于所述第一導向板上用以驅動所述第一固定板上下移動的第二驅動件,所述第一固定板與所述第二驅動件相連接。
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