[發明專利]一種激光加速度計

有效

• 申請號: 201810917497.1
• 申請日: 2018-08-13
• 公開（公告）號: CN108761127B
• 公開（公告）日: 2019-11-08
• 發明（設計）人: 蔣安國;鄧江;鐘欽;楊建坤
• 申請（專利權）人: 湖南莊耀光電科技有限公司
• 主分類號: G01P15/03
• 分類號: G01P15/03
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 黃曉慶

1.一種激光加速度計，其特征在于，包括：

激光器，具有光源端和發射端；

分束器，所述分束器用于對所述發射端射出的激光光束進行分束處理；

F-B諧振腔，具有間隔設置的第一諧振腔和第二諧振腔，所述第一諧振腔的腔長與所述第二諧振腔的腔長相同；

激光穩頻裝置，所述激光穩頻裝置包括第一光電探測器及穩頻控制裝置，所述第一諧振腔的輸入端用于接收來自所述分束器的一束激光；所述第一光電探測器用于接收來自所述第一諧振腔的輸出端射出的激光光束，所述第一光電探測器、所述穩頻控制裝置及所述激光器的所述光源端依次電連接，所述穩頻控制裝置用于響應于所述第一諧振腔的輸出端射出的激光光束的激光頻率變化，以使所述激光器的發射端射出的激光光束的激光頻率穩定在所述第一諧振腔的諧振頻率上；

加速度檢測裝置，包括聲光移頻器、加速度感測元件、第二光電探測器及頻移控制裝置，所述聲光移頻器的輸入端用于接收來自所述分束器的另一束激光，所述第二諧振腔的輸入端用于接收來自所述聲光移頻器的輸出端的激光光束，所述加速度感測元件設置于所述第二諧振腔的輸出端，所述加速度感測元件用于響應于加速度變化以對應改變所述第二諧振腔的腔長；所述第二光電探測器用于接收來自所述第二諧振腔的輸出端經所述加速度感測元件射出的激光光束，所述第二光電探測器、所述頻移控制裝置及所述聲光移頻器的反饋端依次電連接，所述頻移控制裝置響應于所述第二諧振腔的輸出端射出的激光光束的激光頻率變化，以使所述聲光移頻器按照預設移頻量進行移頻處理，從而使射入所述第二諧振腔的激光光束的激光頻率為所述第二諧振腔的諧振頻率。

2.根據權利要求1所述的激光加速度計，其特征在于，所述F-B諧振腔由微晶玻璃器件形成。

3.根據權利要求1所述的激光加速度計，其特征在于，所述穩頻控制裝置包括穩頻控制器及程長控制件，所述程長控制件與所述激光器的所述光源端連接。

4.根據權利要求1～3任一項所述的激光加速度計，其特征在于，所述加速度感測元件包括固定座、高反件及響應于加速度變化沿預設方向產生形變的彈性件；

固定座固定于所述第二諧振腔的輸出端，所述固定座沿所述預設方向開設有第一通孔，所述彈性件沿周向與所述固定座的內壁連接，所述高反件與所述彈性件連接，所述高反件的高反面面對所述第二諧振腔的輸出端設置。

5.根據權利要求4所述的激光加速度計，其特征在于，所述彈性件包括彈性薄片，所述彈性薄片沿周向與所述固定座的內壁連接；

所述加速度感測元件還包括固定于所述彈性薄片中部的支撐柱，所述支撐柱沿所述預設方向延伸，所述高反件設置于所述支撐柱的一端。

6.根據權利要求5所述的激光加速度計，其特征在于，所述第二諧振腔的輸出端的端面開設有與所述支撐柱相匹配的第二通孔，所述高反件的高反面與所述第二諧振腔的輸出端的端面平齊。

7.根據權利要求5所述的激光加速度計，其特征在于，所述彈性薄片沿垂直于所述預設方向的方向延伸。

8.根據權利要求5所述的激光加速度計，其特征在于，所述彈性薄片、所述支撐柱及所述固定座一體成型。

9.根據權利要求4所述的激光加速度計，其特征在于，所述固定座為微晶玻璃固定座，所述固定座的端面與所述第二諧振腔的所述輸出端的端面光膠連接。

10.根據權利要求4所述的激光加速度計，其特征在于，所述加速度感測元件還包括附加質量塊，所述附加質量塊與所述彈性件連接。