[發明專利]一種掩膜版玻璃基板的清洗方法有效
| 申請號： | 201810890472.7 | 申請日： | 2018-08-07 |
| 公開（公告）號： | CN109047160B | 公開（公告）日： | 2021-03-09 |
| 發明（設計）人： | 李翼;李偉;徐根;張誠;周學文 | 申請（專利權）人： | 湖南普照信息材料有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 羅滿 |
| 地址： | 410205 湖*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 掩膜版 玻璃 清洗 方法 | ||
1.一種掩膜版玻璃基板的清洗方法，其特征在于，包括：
將玻璃基板浸入第一SPM洗劑中；其中，所述第一SPM洗劑中濃硫酸與過氧化氫的比例的取值范圍為4:1至6:1，包括端點值；
將所述玻璃基板浸入純水中，以清洗所述玻璃基板表面殘留的所述第一SPM洗劑；
在清洗所述玻璃基板表面殘留的所述第一SPM洗劑之后，將所述玻璃基板浸入包括中性無機洗劑和堿性無機洗劑的混合液中進行超聲清洗；其中，所述中性無機洗劑與所述堿性無機洗劑的比例的取值范圍為1:4至1:6，包括端點值；
將所述玻璃基板浸入純水中進行超聲清洗，以清洗所述玻璃基板表面殘留的所述混合液；
在清洗所述玻璃基板表面殘留的所述混合液之后，以預設的提拉速度從所述純水中提拉出所述玻璃基板；
在所述將玻璃基板浸入第一SPM洗劑中之后，所述方法還包括：
當所述第一SPM洗劑使用時間小于時間閾值時，根據預設的頻率向所述第一SPM洗劑中添加第二SPM洗劑，所述第二SPM洗劑中濃硫酸與過氧化氫的比例的取值范圍為1:1至1:2，包括端點值；
當所述第一SPM洗劑使用時間大于時間閾值時，根據預設的頻率向所述第一SPM洗劑中添加第三SPM洗劑，所述第三SPM洗劑中濃硫酸與過氧化氫的比例的取值范圍為2:1至4:1，包括端點值。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一SPM洗劑的溫度的取值范圍為80℃至100℃，包括端點值。
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述將所述玻璃基板浸入純水中包括：
將所述玻璃基板浸入具有第一溫度的純水中，所述第一溫度的取值范圍為40℃至60℃，包括端點值；
在將所述玻璃基板浸入具有第一溫度的純水中之后，將所述玻璃基板浸入具有室溫溫度的純水中。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述預設的提拉速度的取值范圍為2mm/s至10mm/s，包括端點值。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述將所述玻璃基板浸入純水中進行超聲清洗包括：
將所述玻璃基板浸入純水中進行兆級超聲清洗。
6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述將所述玻璃基板浸入純水中進行兆級超聲清洗包括：
將所述玻璃基板浸入純水中；
使用至少兩個頻率的超聲波交替對所述玻璃基板進行兆級超聲清洗。
7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述混合液的溫度的取值范圍為30℃至50℃，包括端點值。
8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述將所述玻璃基板浸入純水中進行超聲清洗之后，所述方法還包括：
將所述玻璃基板浸入純水中進行漂洗，同時向該純水中鼓入二氧化碳氣體。
9.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述將玻璃基板浸入第一SPM洗劑中之前，所述方法還包括：
使用純水將所述玻璃基板潤濕。
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