[發明專利]一種分體式窗口CMP拋光墊的制備方法及CMP拋光墊

在審

• 申請號: 201810877758.1
• 申請日: 2018-08-03
• 公開（公告）號: CN108818300A
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: 宋思琪
• 申請（專利權）人: 成都時代立夫科技有限公司
• 主分類號: B24B37/26
• 分類號: B24B37/26
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230
• 代理人: 蔣秀清;李春芳

1.一種分體式窗口CMP拋光墊的制備方法,其特征在于，包括以下步驟：

(1)取基材(1)并對基材(1)雕刻溝槽(6)；

(2)取襯底(4)并在襯底(4)底部貼一層背膠B(9)；

(3)在雕刻溝槽(6)的基材(1)上雕刻出一個放置窗口材料(8)的窗口孔洞(2)；

(4)將雕刻了窗口孔洞(2)的基材(1)和貼了背膠B(9)的襯底(4)通過背膠A(3)貼合，再用襯底沖壓模具在基材(1)的窗口孔洞(2)位置將襯底(4)沖壓出一個襯底孔洞(5)，同時在窗口孔洞(2)的底部兩側形成兩個窗口支撐塊(7)；

(5)另取窗口材料并用沖壓機和窗口材料沖壓模具對窗口材料進行沖壓，得到成型的窗口材料(8)；

(6)在窗口支撐塊(7)上涂抹一層底涂劑；

(7)將成型的窗口材料(8)放在窗口孔洞(2)位置，貼于窗口支撐塊(7)上，得到CMP拋光墊。

2.根據權利要求1所述的一種分體式窗口CMP拋光墊的制備方法，其特征在于，所述窗口孔洞(2)形狀為橢圓形，長邊35～41mm，圓弧半徑8.6～10.6mm，窗口中心距離基材(1)圓心98.5～104.5mm。

3.根據權利要求2所述的一種分體式窗口CMP拋光墊的制備方法，其特征在于，所述窗口孔洞(2)長邊38mm，圓弧半徑9.5mm，窗口中心距離基材(1)圓心101.5mm。

4.根據權利要求1所述的一種分體式窗口CMP拋光墊的制備方法，其特征在于，所述襯底沖壓模具為橢圓形，尺寸比窗口孔洞(2)外圍小2.7～3.3mm。

5.根據權利要求1所述的一種分體式窗口CMP拋光墊的制備方法，其特征在于，所述窗口材料沖壓模具與窗口孔洞(2)尺寸相同。

6.根據權利要求1所述的一種分體式窗口CMP拋光墊的制備方法，其特征在于，所述底涂劑為Primer94。

7.一種CMP拋光墊，包括基材(1)、襯底(4)、背膠A(3)以及背膠B(9)，所述基材(1)上雕刻有若干溝槽(6)，其特征在于，所述基材(1)上還雕刻有一個窗口孔洞(2)，所述襯底(4)上設有一個襯底孔洞(5)，所述窗口孔洞(2)內嵌設有相應的窗口材料(8)，所述窗口孔洞(2)的底部兩側設有兩個窗口支撐塊(7)。

8.根據權利要求7所述的一種CMP拋光墊，其特征在于，所述窗口孔洞(2)與襯底孔洞(5)具有相同的孔洞中心，且襯底孔洞(5)比窗口孔洞(2)尺寸小。

9.根據權利要求8所述的一種CMP拋光墊，其特征在于，所述襯底孔洞(5)比窗口孔洞(2)尺寸小2.7～3.3mm。

10.根據權利要求7所述的一種CMP拋光墊，其特征在于，所述窗口支撐塊(7)關于窗口孔洞(2)和襯底孔洞(5)的中心對稱。