[發明專利]超聲波裝置

在審

• 申請號: 201810865770.0
• 申請日: 2018-08-01
• 公開（公告）號: CN109387562A
• 公開（公告）日: 2019-02-26
• 發明（設計）人: 新井義雄;吉田一輝
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01N29/00
• 分類號: G01N29/00;G01N29/22
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 張永明;玉昌峰

一種超聲波裝置，能夠抑制朝向超聲波元件陣列行進的電磁波噪聲所帶來的影響。該超聲波裝置具備：超聲波元件基板(16)，具有向第一方向(11)發送超聲波的超聲波元件陣列(6)以及設置于超聲波元件陣列(6)的第一方向(11)側的第一導電膜(17)；殼體部(13)，具有導電部件(21)，該導電部件(21)在超聲波元件基板(16)的與第一方向(11)交叉的方向上一側包圍超聲波元件基板(16)而設置；以及支承基板(14)，具有導電性并設置于超聲波元件基板(16)的與第一方向(11)相反一側、對超聲波元件基板(16)進行支承。

技術領域

本發明涉及超聲波裝置。

背景技術

超聲波探測器是向被檢測體發送超聲波并接收在被檢測體的內部、表面反射的反射波的裝置。并且，超聲波探測器是將接收到的反射波轉換為電信號的換能器。超聲波探測器構成超聲波裝置的一部分，也稱作超聲波探頭。超聲波裝置具備運算電路，超聲波探測器輸出的電信號被輸入該運算電路。并且，運算電路運算被檢測體的內部的剖面圖像。該剖面圖像稱作超聲波圖像。

超聲波探測器具備多個超聲波元件排列而成的超聲波元件陣列。并且，各超聲波元件發送超聲波并接收反射波。超聲波元件有在振動膜設置電極的CMUT(CapacitiveMicromachined Ultrasonic Transducer：電容式微機械超聲換能器)方式、應用了壓電元件的PMUT(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer：壓電超聲換能器)方式等。超聲波元件陣列由超聲波元件排列而成并通過布線連接。布線將各超聲波元件連接而變得較長，因此容易接收電磁波噪聲。

CMUT方式的超聲波探測器在專利文獻1中公開。據該文獻，超聲波元件陣列向第一方向發送超聲波。并且，在超聲波元件陣列的第一方向側設置有導電膜。進一步地，在超聲波元件陣列的與第一方向正交的側也設置有導電膜。這些導電膜與超聲波裝置的機殼接地(Chassis ground)連接。由此，抑制由于朝向超聲波元件陣列行進的電磁波噪聲而在超聲波元件陣列輸出的電信號中加入噪聲。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2008/114582號

專利文獻1的超聲波探測器未在超聲波元件陣列的第一方向相反側設置導電膜。因此，不能抑制從與所述第一方向相反一側朝向超聲波元件陣列行進的電磁波噪聲所帶來的影響。這些電磁波噪聲不僅在上述那樣的超聲波探測器中、在使用超聲波測量被測量物的有無、測量距離等的超聲波裝置中也同樣成為問題。因此，希望提供一種能夠抑制朝向超聲波元件陣列行進的電磁波噪聲所帶來的影響的超聲波裝置。

發明內容

本發明是為了解決上述技術問題而作出的，能夠作為以下的形態或者應用例來實現。

[應用例1]

本應用例的超聲波裝置的特征在于，具備：超聲波元件基板，具有向第一方向發送超聲波的超聲波元件陣列以及設置于所述超聲波元件陣列的所述第一方向一側的第一導電膜；殼體部，具有導電部件，所述導電部件在所述超聲波元件基板的與所述第一方向交叉的方向上一側包圍所述超聲波元件基板而設置；以及支承基板，具有導電性并設置于所述超聲波元件基板的與所述第一方向相反一側，對所述超聲波元件基板進行支承。

根據本應用例，超聲波裝置具備超聲波元件基板、殼體部以及支承基板。在超聲波元件基板設置有超聲波元件陣列以及第一導電膜。超聲波元件陣列向第一方向發送超聲波。超聲波元件陣列由超聲波元件排列而成并通過布線連接。布線將各超聲波元件連接而變得較長，因此容易接收電磁波噪聲。