[發明專利]磁盤用玻璃基板的制造方法

有效

• 申請號: 201810862693.3
• 申請日: 2015-09-30
• 公開（公告）號: CN109107971B
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: S·斯瓦特;S·潘尼
• 申請（專利權）人: HOYA株式會社;HOYA玻璃磁盤（泰國）公司
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04;G11B5/84;C03C23/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 龐東成

一種磁盤用玻璃基板的制造方法，其可在玻璃基板的主表面抑制清洗污漬的產生，該磁盤用玻璃基板的制造方法包括上述玻璃基板的表面的清洗處理、和在上述清洗處理后進行的上述表面的干燥處理。上述清洗處理包括將上述玻璃基板浸漬到包含沸點低于水的水溶性溶劑和水的第1液體中的第1液體處理，上述第1液體包含上述水溶性溶劑作為主要成分，并包含3.0重量％以上的水。或者，上述干燥處理包括：將上述玻璃基板配置于包含沸點低于水的水溶性溶劑和水的第2液體的蒸氣中，一邊在上述玻璃基板的表面形成液滴，一邊使上述玻璃基板的液滴的一部分從上述玻璃基板滴下。上述第2液體包含上述水溶性溶劑作為主要成分，并包含超過1.0重量％的上述水。

本申請是分案申請，其原申請的申請號為201580052307.9，申請日為2015年09月30日，發明名稱為“磁盤用玻璃基板的制造方法”。

技術領域

本發明涉及磁盤用玻璃基板的制造方法。

背景技術

對于用作信息記錄介質之一的磁盤而言，以往適宜地使用了玻璃基板。現在，應硬盤驅動裝置中的存儲容量增大的要求，實現了磁記錄的高密度化。伴隨于此，進行了下述操作：使磁頭距磁記錄面的懸浮距離極短，從而對磁記錄信息區域進行微細化。對于這種磁盤用玻璃基板而言，為了達成高記錄密度硬盤驅動裝置所需的磁頭低懸浮量化，降低基板的表面凹凸、特別是微小起伏的要求越來越強。此外，由于在玻璃基板的主表面形成磁性層，因而對主表面進行嚴格的管理，以使主表面不殘存有機成分等導致的不必要的異物。因此，最終研磨后的玻璃基板的主表面的清洗處理和干燥處理的重要性高。

例如，下述清洗處理、干燥處理是眾所周知的，其用于防止因異物而使玻璃發生改性、劣化(所謂的腐蝕(ヤケ))(專利文獻1)，該異物附著于主表面上形成了紋理的磁盤用玻璃基板的主表面上。

具體而言，在制造磁盤用玻璃基板時，在清洗處理中，至少用純水、或以水為主要成分的水溶液進行清洗，之后將以沸點低于水的水溶性溶劑作為主要成分并且含水量為1.0重量％以下的液體作為清洗液進行清洗。在干燥處理中，至少進行使以沸點低于水的水溶性溶劑為主要成分的液體的蒸氣與磁盤用玻璃基板接觸的脫水處理。該脫水處理的上述液體中包含的水含量為1.0重量％以下。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利5032758號公報

發明內容

發明所要解決的課題

但是，近年來產生了下述問題：即，在進行了清洗處理和干燥處理的玻璃基板的主表面上的外周側端面附近的圓周上的一部分區域會產生看起來像是白濁的污漬那樣的缺陷。之后，將該缺陷稱為清洗污漬。認為該清洗污漬與位于玻璃中的主表面的堿金屬成分和空氣中的水發生反應而使主表面整個面白濁地形成的上述腐蝕是不同的，在干燥處理時部分殘留于主表面。從通過在玻璃基板的主表面形成磁性膜而制作磁盤的方面考慮，這樣的清洗污漬是不優選的。

因此，本發明的目的在于提供一種磁盤用玻璃基板的制造方法，該制造方法在制造磁盤用玻璃基板時能夠在玻璃基板的主表面抑制清洗污漬的產生。

用于解決課題的方案

本申請發明人為了探索上述清洗污漬的原因而對清洗污漬的組成等進行了調查，結果發現，清洗污漬來源于清洗處理中所用的清洗劑及在清洗處理前附著于玻璃基板的有機成分的異物，該有機成分的一部分在干燥處理中殘存于玻璃基板。因此，本申請發明人對于即便是有機成分附著于玻璃基板的表面的玻璃基板也能夠通過清洗處理和干燥處理充分除去有機成分的對策進行了研究，結果完成了下述方式的發明。

即，本發明的一個方式為磁盤用玻璃基板的制造方法。該制造方法包括下述方式。

[方式1]