[發明專利]多晶鍺的制備裝置及制備方法

在審

• 申請號: 201810851606.4
• 申請日: 2018-07-30
• 公開（公告）號: CN109161966A
• 公開（公告）日: 2019-01-08
• 發明（設計）人: 狄聚青;朱劉;尹士平;胡智向;劉運連
• 申請（專利權）人: 廣東先導先進材料股份有限公司
• 主分類號: C30B29/08
• 分類號: C30B29/08;C30B13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多晶鍺的制備裝置，其特征在于：該裝置包括一石英管、放置于石英管內的一石墨坩堝以及圍繞于石英管側壁的至少一個加熱器。

2.根據權利要求1 所述的多晶鍺的制備裝置，其特征在于：所述加熱器包括4-10個獨立控制的發熱體。

3.一種多晶鍺的制備方法，其特征在于：采用權利要求2所述的多晶鍺的制備裝置，其包括如下步驟：

S1、將氧化鍺原料放進石墨坩堝中，并將石墨坩堝置于石英管中，向石英管中通入氮氣置換石英管中的空氣，之后使所有發熱體升溫到600℃，向石英管內通入氫氣；保溫t1時間之后，停止通入氫氣，改為向石英管內通入氮氣，并使所有發熱體升溫到938℃；之后發熱體按頭尾依次以v1降溫速率降溫，每一發熱體達到目標溫度900℃之后進入保溫；相鄰發熱體開始降溫的時間間隔為t2；直至最后一個發熱體完成降溫，到達900℃，則完成定向凝固過程；

S2、之后發熱體按頭尾順序依次完成一次升溫、保溫和降溫的加熱過程，升溫目標溫度為938℃，降溫目標溫度為900℃，其中保溫時間為t3，降溫速率為v2，相鄰發熱體開始加熱的時間間隔為t4，直至最后一個發熱體完成降溫，則完成一次區熔過程；

S3、重復S2直至完成N次區熔過程；之后，待所有發熱體均已降到900℃后，所有發熱體以相同降溫速率開始降溫。

4.根據權利要求3 所述的制備方法，其特征在于：所述t1時間為1-10h。

5.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于：所述v1為5-20℃/h。

6.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于：所述t2時間為0.2-1h。

7.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于：所述t3時間為0.5-5h。

8.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于：所述v2為1-10℃/h。

9.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于：所述t4時間為0.2-1h。

10.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于：所述N為3-10。