[發明專利]成膜裝置、成膜方法以及電子器件制造方法

有效

• 申請號: 201810844844.2
• 申請日: 2018-07-27
• 公開（公告）號: CN109722625B
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 石井博
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50;H01L51/56
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 鄧宗慶

本發明涉及成膜裝置、成膜方法以及電子器件制造方法。成膜裝置包括：真空腔，所述真空腔定義進行蒸鍍工序的空間；基板保持單元，所述基板保持單元設置在所述真空腔內，用于保持并輸送基板；冷卻板，所述冷卻板在所述真空腔內設置在所述基板保持單元的基板支承部上，用于冷卻基板；對準臺，所述對準臺設置在所述真空腔的第一外部面上，用于使所述基板保持單元在第一方向以及與第一方向交叉的第二方向上移動或繞以與所述第一方向以及所述第二方向交叉的第三方向為軸的旋轉方向旋轉；以及冷卻板第三方向驅動機構，所述冷卻板第三方向驅動機構從所述對準臺分離而獨立地設置在所述真空腔的所述第一外部面上，用于在所述第三方向上驅動所述冷卻板。

技術領域

本發明涉及成膜裝置、成膜方法以及電子器件制造方法，涉及具有使冷卻板/磁鐵板的驅動機構從對準臺分離而獨立的結構的成膜裝置以及使用該成膜裝置的成膜方法。

背景技術

最近，作為平板顯示裝置，有機EL顯示裝置受到關注。有機EL顯示裝置是自發光顯示器，響應速度、視角、薄型化等特性比液晶面板顯示器優異，對于監視器、電視、以智能手機為代表的各種便攜式終端等而言，正在快速代替現有的液晶面板顯示器。另外，其應用領域也擴展到了汽車用顯示器等。

有機EL顯示裝置的元件具有如下基本結構：在兩個相對的電極(陰極電極、陽極電極)之間形成有進行發光的有機物層。有機EL顯示器元件的有機物層和電極金屬層通過在真空腔內經由形成有像素圖案的掩模使蒸鍍物質蒸鍍到基板上來制造，為了將掩模上的像素圖案高精度地轉印于基板，必須在向基板進行蒸鍍前使掩模和基板的相對位置精密地整齊排列。

因此，對搭載有保持基板的基板保持單元的對準臺進行驅動，從而執行相對于掩模臺上的掩模對基板保持單元上所保持的基板進行位置調整的對準工序。但是，在以往的對準臺上，除基板保持單元的升降機構之外也一起搭載有冷卻板/磁鐵板的升降機構，因此，若為了相對于掩模臺上的掩模的位置來調整基板保持單元上的基板的位置而使對準臺在X方向或Y方向上移動或繞θ方向旋轉，則不僅基板，而且冷卻板/磁鐵板也一起移動以及/或者旋轉。

在利用輸送機器人將基板送入到成膜裝置內的過程中，基板在輸送機器人的手上移動，輸送機器人的手上的基板的位置有時會從確定的位置偏移。在該情況下，從輸送機器人的手上接收到基板的基板保持單元上的基板的位置也會因由輸送機器人帶來的基板的輸送誤差而從確定的位置偏移。

因如上所述的由輸送機器人帶來的基板的輸送誤差而引起的基板相對于掩模的位置偏移，通過在XYθ方向上驅動與基板保持單元相連的對準臺進行修正。例如，若因輸送機器人的問題而導致基板以從確定的位置以Z軸為中心旋轉了5°的狀態放置在基板保持單元上(即，若基板保持單元上的基板和掩模臺上的掩模以Z軸為中心偏移5°)，則通過使與基板保持單元相連的對準臺向相反方向旋轉5°，從而對基板相對于掩模臺上的掩模的位置偏移進行修正。

但是，由于冷卻板/磁鐵板升降機構與基板保持單元升降機構一起設置在對準臺上，因此，若為了進行基板的位置修正而使對準臺向相反方向旋轉5°，則冷卻板/磁鐵板也同樣地向相反方向旋轉5°。因此，雖然借助對準臺的驅動能夠消除由基板的輸送誤差帶來的基板和掩模之間的位置偏移，但會殘留冷卻板/磁鐵板和基板之間的位置偏移、冷卻版/磁鐵板和掩模之間的位置偏移。

如上所述的由輸送機器人帶來的基板的輸送誤差的程度按照輸送機器人的輸送動作而不同，因此，冷卻板/磁鐵板和基板之間的位置偏移、冷卻板/磁鐵板和掩模之間的位置偏移的程度會產生偏差。這會使成膜時接觸的冷卻板和基板之間的最終的定位精度惡化(這會給冷卻板對基板的冷卻作用帶來偏差)，從而給借助磁鐵板而緊貼的基板和掩模的緊貼狀態帶來偏差。

上述這樣的、由基板的輸送誤差帶來的冷卻板/磁鐵板和基板/掩模之間的位置偏移及其位置偏移量的偏差會導致成膜模糊、成膜位置偏移等產品不良或成品率降低等問題。

發明內容