[發(fā)明專(zhuān)利]一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)時(shí)間測(cè)量單元校準(zhǔn)裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810811982.0
• 申請(qǐng)日: 2018-07-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108828492B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫崇鈞;顧翼
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七0九研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01R35/00
• 分類(lèi)號(hào): G01R35/00
• 代理公司: 武漢河山金堂專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 42212
• 代理人: 胡清堂;陳懿

1.一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)時(shí)間測(cè)量單元校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述校準(zhǔn)裝置（1）包括主控模塊（10）、與主控模塊（10）電連接的時(shí)間間隔測(cè)量模塊（11）、放置主控模塊（10）和時(shí)間間隔測(cè)量模塊（11）的恒溫控制模塊（12）、與時(shí)間間隔測(cè)量模塊（11）電連接的探針模塊（13）、與探針模塊（13）電連接的接口適配器（14）；其中，所述時(shí)間間隔測(cè)量模塊（11）用于測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)脈沖信號(hào)脈沖寬度以及脈沖間隔，并將測(cè)試結(jié)果實(shí)時(shí)反饋到主控模塊（10），所述探針模塊（13）為對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)式，包括兩只用于采集信號(hào)的探針、用于定位并且控制兩只探針在水平面以固定軸為圓心旋轉(zhuǎn)的固定軸組成，所述時(shí)間間隔測(cè)量模塊（11）通過(guò)對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)式探針模塊（13）與接口適配器（14）輸出端電連接；

所述校準(zhǔn)裝置（1）與外置集成電路測(cè)試系統(tǒng)（2）電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)時(shí)間測(cè)量單元校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)（2）包括主機(jī)（20）、第一路數(shù)字通道（21）、待校準(zhǔn)TMU（22）和第二路數(shù)字通道（23）；

所述主機(jī)（20）與所述主控模塊（10）電連接，所述接口適配器（14） 與第一路數(shù)字通道（21）電連接、接口適配器（14）與待校準(zhǔn)TMU（22）電連接，接口適配器（14）與第二路數(shù)字通道（23）電連接。

3.一種如權(quán)利要求1-2任一項(xiàng)所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)時(shí)間測(cè)量單元校準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

S1、所述校準(zhǔn)裝置（1）的校準(zhǔn)過(guò)程分為脈沖寬度校準(zhǔn)和脈沖間隔校準(zhǔn)；

S2、主控模塊（10）控制集成電路測(cè)試系統(tǒng)（2）產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)脈沖信號(hào)；

S3、當(dāng)對(duì)脈沖寬度校準(zhǔn)時(shí)，控制集成電路測(cè)試系統(tǒng)（2）的第一路數(shù)字通道（21）向待校準(zhǔn)的TMU（22）發(fā)出固定周期的標(biāo)準(zhǔn)脈沖信號(hào)，由校準(zhǔn)裝置（1）通過(guò)探針模塊（13）采集輸出波形，實(shí)時(shí)進(jìn)行閉環(huán)反饋，調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)脈沖信號(hào)的周期，最后由主控模塊（10）對(duì)時(shí)間間隔測(cè)量模塊（11）與待校準(zhǔn)TMU（22）所測(cè)量的單路信號(hào)的時(shí)間間隔的結(jié)果進(jìn)行比對(duì)，實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn)，并將校準(zhǔn)結(jié)果存儲(chǔ)于主機(jī)（20）存儲(chǔ)器中；

S4、當(dāng)對(duì)脈沖間隔校準(zhǔn)時(shí)，控制集成電路測(cè)試系統(tǒng)（2）的第一路數(shù)字通道（21）和第二路數(shù)字通道（23）向待校準(zhǔn)的TMU（22）發(fā)出幅值相同、頻率相同固定脈沖間隔的兩路標(biāo)準(zhǔn)脈沖信號(hào)，由校準(zhǔn)裝置（1）通過(guò)探針模塊（13）采集輸出波形，實(shí)時(shí)進(jìn)行閉環(huán)反饋，調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)脈沖間隔，最后由主控模塊（1）對(duì)時(shí)間間隔測(cè)量模塊（11）與待校準(zhǔn)TMU（22）所測(cè)量的兩路信號(hào)時(shí)間間隔的結(jié)果進(jìn)行比對(duì)，實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn)，并將校準(zhǔn)結(jié)果存儲(chǔ)于主機(jī)（20）存儲(chǔ)器中。