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[發(fā)明專(zhuān)利]一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)時(shí)間測(cè)量單元校準(zhǔn)裝置及方法有效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201810811982.0 申請(qǐng)日: 2018-07-23
公開(kāi)(公告)號(hào): CN108828492B 公開(kāi)(公告)日: 2021-04-09
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 孫崇鈞;顧翼 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七0九研究所
主分類(lèi)號(hào): G01R35/00 分類(lèi)號(hào): G01R35/00
代理公司: 武漢河山金堂專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 42212 代理人: 胡清堂;陳懿
地址: 430000 湖北省*** 國(guó)省代碼: 湖北;42
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 集成電路 測(cè)試 系統(tǒng) 時(shí)間 測(cè)量 單元 校準(zhǔn) 裝置 方法
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)時(shí)間測(cè)量單元校準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述校準(zhǔn)裝置(1)包括主控模塊(10)、與主控模塊(10)電連接的時(shí)間間隔測(cè)量模塊(11)、放置主控模塊(10)和時(shí)間間隔測(cè)量模塊(11)的恒溫控制模塊(12)、與時(shí)間間隔測(cè)量模塊(11)電連接的探針模塊(13)、與探針模塊(13)電連接的接口適配器(14);其中,所述時(shí)間間隔測(cè)量模塊(11)用于測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)脈沖信號(hào)脈沖寬度以及脈沖間隔,并將測(cè)試結(jié)果實(shí)時(shí)反饋到主控模塊(10),所述探針模塊(13)為對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)式,包括兩只用于采集信號(hào)的探針、用于定位并且控制兩只探針在水平面以固定軸為圓心旋轉(zhuǎn)的固定軸組成,所述時(shí)間間隔測(cè)量模塊(11)通過(guò)對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)式探針模塊(13)與接口適配器(14)輸出端電連接;

所述校準(zhǔn)裝置(1)與外置集成電路測(cè)試系統(tǒng)(2)電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)時(shí)間測(cè)量單元校準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)(2)包括主機(jī)(20)、第一路數(shù)字通道(21)、待校準(zhǔn)TMU(22)和第二路數(shù)字通道(23);

所述主機(jī)(20)與所述主控模塊(10)電連接,所述接口適配器(14) 與第一路數(shù)字通道(21)電連接、接口適配器(14)與待校準(zhǔn)TMU(22)電連接,接口適配器(14)與第二路數(shù)字通道(23)電連接。

3.一種如權(quán)利要求1-2任一項(xiàng)所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)時(shí)間測(cè)量單元校準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)方法,其特征在于,所述方法包括以下步驟:

S1、所述校準(zhǔn)裝置(1)的校準(zhǔn)過(guò)程分為脈沖寬度校準(zhǔn)和脈沖間隔校準(zhǔn);

S2、主控模塊(10)控制集成電路測(cè)試系統(tǒng)(2)產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)脈沖信號(hào);

S3、當(dāng)對(duì)脈沖寬度校準(zhǔn)時(shí),控制集成電路測(cè)試系統(tǒng)(2)的第一路數(shù)字通道(21)向待校準(zhǔn)的TMU(22)發(fā)出固定周期的標(biāo)準(zhǔn)脈沖信號(hào),由校準(zhǔn)裝置(1)通過(guò)探針模塊(13)采集輸出波形,實(shí)時(shí)進(jìn)行閉環(huán)反饋,調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)脈沖信號(hào)的周期,最后由主控模塊(10)對(duì)時(shí)間間隔測(cè)量模塊(11)與待校準(zhǔn)TMU(22)所測(cè)量的單路信號(hào)的時(shí)間間隔的結(jié)果進(jìn)行比對(duì),實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn),并將校準(zhǔn)結(jié)果存儲(chǔ)于主機(jī)(20)存儲(chǔ)器中;

S4、當(dāng)對(duì)脈沖間隔校準(zhǔn)時(shí),控制集成電路測(cè)試系統(tǒng)(2)的第一路數(shù)字通道(21)和第二路數(shù)字通道(23)向待校準(zhǔn)的TMU(22)發(fā)出幅值相同、頻率相同固定脈沖間隔的兩路標(biāo)準(zhǔn)脈沖信號(hào),由校準(zhǔn)裝置(1)通過(guò)探針模塊(13)采集輸出波形,實(shí)時(shí)進(jìn)行閉環(huán)反饋,調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)脈沖間隔,最后由主控模塊(1)對(duì)時(shí)間間隔測(cè)量模塊(11)與待校準(zhǔn)TMU(22)所測(cè)量的兩路信號(hào)時(shí)間間隔的結(jié)果進(jìn)行比對(duì),實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn),并將校準(zhǔn)結(jié)果存儲(chǔ)于主機(jī)(20)存儲(chǔ)器中。

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