[發明專利]一種卷到卷超薄柔性IC基板外觀檢測方法有效
| 申請號： | 201810799385.0 | 申請日： | 2018-07-19 |
| 公開（公告）號： | CN109001213B | 公開（公告）日： | 2021-08-10 |
| 發明（設計）人： | 胡躍明;鐘智彥;杜娟;羅家祥 | 申請（專利權）人： | 華南理工大學 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 511458 廣東省廣州市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 卷到卷 超薄 柔性 ic 外觀 檢測 方法 | ||
1.一種卷到卷超薄柔性IC基板外觀檢測方法，其特征在于包括：
(1) 通過光學成像采集系統對圖像進行光學成像采集；
(2) 通過圖像融合將拍攝完成后的所有圖像拼接形成完整的柔性IC基板圖像；
(3) 對柔性IC基板圖像進行基板外觀參數檢測；具體包括：
(3.1) 采用高光譜成像技術，用于檢測凹凸痕、劃傷/劃痕和碰傷缺陷；
(3.2) 圖像平滑預處理，采用高斯平滑濾波器，去除噪聲；
(3.3) 彩色圖像灰度化，去除冗余彩色空間信息；
(3.4) 自動聚類，用于檢測氧化和外觀顏色缺陷；具體包括：
(3.4.1) 計算圖像的二維直方圖：將黃色和黑色設置為背景，其他顏色設置為目標，在對應目標和背景的像限內構造像素點對目標和背景的隸屬度函數，即可建立二維灰度直方圖；
(3.4.2) 求取聚類數目K值：由于正常的柔性IC基板顏色只有黑色背景和黃色線路，所以自動聚類數目的K值一定大于等于2；
(3.4.3) 氧化和外觀顏色的判定：若K=2，判定該柔性IC基板無氧化和外觀顏色缺陷；若K2，判定該柔性IC基板存在氧化或外觀顏色缺陷；
(3.5) 邊緣特征提取，用于檢測沾污及異物缺陷，具體包括：
(3.5.1) 邊緣特征檢測：使用基于小波變換模極大值與改進灰值數學形態學融合的邊緣檢測方法進行邊緣特征檢測；所述改進灰值數學形態學的檢測算子是先對圖像進行開運算再膨脹運算；其次將圖像進行先閉運算再腐蝕；最后將第一步與第二步運算之后的圖像作差
(3.5.2) 區域形狀判定：根據邊緣檢測出的形狀可判斷是否存在沾污或異物缺陷，所述沾污包括油跡、膠跡、手指印記。
2.根據權利要求1所述的一種卷到卷超薄柔性IC基板外觀檢測方法，其特征在于步驟（1）所述光學成像采集系統包括光學成像系統和金相顯微成像采集系統， 其中光學成像系統通過高光譜成像技術在拍攝采集過程的同時采集柔性IC基板的譜帶；顯微成像采集系統通過移動載物臺的同時相機拍攝而完成。
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