[發明專利]微型雙平行反射面的光學器件結構及加工方法

有效

• 申請號: 201810705458.5
• 申請日: 2018-07-02
• 公開（公告）號: CN108802983B
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發明（設計）人: 張琴
• 申請（專利權）人: 張琴
• 主分類號: G02B17/00
• 分類號: G02B17/00;G02B1/11;B24B13/00;C03C17/36
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 李君;馮炳輝

本發明公開了一種微型雙平行反射面的光學器件結構及加工方法，所述光學器件結構包括玻璃本體，所述玻璃本體具有兩個相平行的斜面，玻璃本體的兩個斜面上設有反射膜，玻璃本體的光線進出口的兩個面上以及反射膜的外表面上設有抗反射膜。本發明將抗反射膜設置在玻璃光線進出口的兩個面上，可以起到減少光從其他介質進出玻璃的反射損失的作用，同時將抗反射膜設置在反射膜的外表面，起到保護反射膜的作用，不僅可以隔離反射膜和其他介質，防止反射膜腐蝕脫落等，而且簡化了鍍膜工藝和流程。

技術領域

本發明涉及一種反射器件結構，尤其是一種微型雙平行反射面的光學器件結構及加工方法，屬于光學器件領域。

背景技術

雙面玻璃反射器件用于平行移動光線的路徑，延長光傳輸路徑等。

現在的器件多采用精密研磨工藝形成單個的玻璃本體器件，再鍍膜而成，速度慢，成本高。

在現有的產品當中，金屬保護膜和增透膜(防反膜)使用不同的材料制成，且需要分次鍍膜。

發明內容

本發明的目的是為了解決上述現有技術的缺陷，提供了一種微型雙平行反射面的光學器件結構，該光學器件結構將抗反射膜設置在玻璃光線進出口的兩個面上，可以起到減少光從其他介質進出玻璃的反射損失的作用，同時將抗反射膜設置在反射膜的外表面，起到保護反射膜的作用，簡化了鍍膜工藝和流程。

本發明的另一目的在于提供一種基于上述光學器件結構的加工方法，該方法使用晶圓后道工藝實現晶圓級微型雙平行反射面的光學器件結構加工，可以實現微米級的尺寸精度精度和納米級的表面粗糙度。

本發明的目的可以通過采取如下技術方案達到：

一種微型雙平行反射面的光學器件結構，包括玻璃本體，所述玻璃本體具有兩個相平行的斜面，玻璃本體的兩個斜面上設有反射膜，玻璃本體的光線進出口的兩個面上以及反射膜的外表面上設有抗反射膜。

進一步的，所述反射膜為金屬膜。

進一步的，所述反射膜采用金屬蒸鍍或濺鍍的方式進行鍍制。

本發明的另一目的可以通過采取如下技術方案達到：

一種上述光學器件結構的加工方法，所述方法包括：

清洗并以晶圓固定方式固定玻璃材料；

對玻璃材料的第一面進行切割、拋光；

在玻璃材料的第一面鍍上反射膜；

翻轉玻璃材料的切割面，重新以晶圓固定方式固定玻璃材料；

對玻璃材料的第二面進行切割、拋光；

在玻璃材料的第二面鍍上反射膜；

對玻璃材料的第二面進行磨削、拋光，直至第一設定厚度，實現光線進出口；

清潔玻璃材料，在玻璃材料的第二面磨出的表面上鍍上抗反射膜，作為光線進出通道；同時，也對玻璃材料第二面鍍上的反射膜外表面涂覆抗反射膜；

翻轉并固定玻璃材料，將玻璃材料的第一面露出；

對玻璃材料的第一面進行磨削、拋光，直至第二設定厚度，實現光線進出口，形成完整的雙平行反射面；

清潔玻璃材料，在玻璃材料的第一面磨出的表面上鍍上抗反射膜，作為光線進出通道；同時，也對玻璃材料第一面鍍上的反射膜外表面涂覆抗反射膜；

將做好反射面、抗反射膜的長條形器件進行劃片切割，實現單顆微型雙平行反射面的光學器件結構。

進一步的，所述以晶圓固定方式固定玻璃材料采用劃片機上晶圓固定方式實現。