[發(fā)明專利]一種用于探針接觸類測試設備的測試裝置

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• 申請日: 2018-06-28
• 公開（公告）號: CN108872917A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設計）人: 郭邐達;賴圣明;李新連;楊立紅
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: G01R35/02
• 分類號: G01R35/02
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 王剛

本發(fā)明公開了一種用于探針接觸類測試設備的測試裝置，包括測試電路板和絕緣層；測試電路板包括多個測試點，多個測試點用于測試被測探針組的接觸性以及測試準確性；絕緣層設置于測試電路板的表面，絕緣層設置有與每個測試點位置對應的開孔以裸露每個所述測試點。本發(fā)明所述用于探針接觸類測試設備的測試裝置，測試電路板與探針的接觸點裸露，其余部分有絕緣鍍層，從而可以評估探針頭的位置是否有偏差，以便于工作人員可以及時調整被測探針組的安裝位置或更換探針。

技術領域

本發(fā)明涉及半導體技術領域，特別是指一種用于探針接觸類測試設備的測試裝置。

背景技術

在研發(fā)和制備半導體器件的過程中，尤其是光電器件如太陽能電池，樣片會經過多道工藝和測試，其中一道或多道為電學測試，如薄膜電池的絕緣刻線測試、太陽能電池的IV曲線測試等，往往由探針接觸類測試設備中的一組彈性探針下壓進行測試。探針與基板的接觸性直接影響測試結果，因此在工廠生產中，需要定期對探針進行接觸性測試、準確性測試以及校準，同時更換探針后亦需此步驟以保證測試的準確性。

現(xiàn)有技術中，對探針進行測試時需要在測試機臺的探針組下方安裝一個測試裝置，之后直接將探針壓到該測試裝置上進行測試，測試裝置上用于與探針接觸的部分的面積很大，便于能夠方便的對探針進行測試。但是在這種情況下，即使探針存在因變形等原因造成的位置偏差，也能夠順利通過測試，降低了探針測試的準確性。而使用不準確的探針對基板進行測試時，無法得到準確的測試結果。

發(fā)明內容

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提出一種用于探針接觸類測試設備的測試裝置，能夠提高探針測試的準確性。

基于上述目的本發(fā)明提供的一種用于探針接觸類測試設備的測試裝置，包括測試電路板和絕緣層；

所述測試電路板包括多個測試點，多個所述測試點用于測試被測探針組的接觸性以及測試準確性；

所述絕緣層設置于所述測試電路板的表面，所述絕緣層設置有與每個所述測試點位置對應的開孔以裸露每個所述測試點。

可選的，所述測試電路板包括至少一個測試電路，每個所述測試電路包括平行設置的第一電路和第二電路，所述第一電路、所述第二電路分別設置有多個與所述測試點對應的連接點，所述第一電路、所述第二電路上相鄰的兩個所述連接點用于實現(xiàn)相鄰兩個探針的阻值準確性測試；所述第一電路、所述第二電路上位置對應的兩個所述連接點連接，用于實現(xiàn)探針對的接觸性測試。

可選的，位于所述第一電路、所述第二電路上位置對應的兩個所述連接點通過導線連接。

可選的，所述第一電路、所述第二電路上相鄰的兩個所述連接點通過導線連接。

可選的，所述第一電路、所述第二電路上相鄰的兩個所述連接點之間分別連接有單個標準電阻。

可選的，一個所述測試電路上的多個所述標準電阻集成在一個標準電阻條上，所述標準電阻條通過定位扣固定在所述測試電路板上。

可選的，所述開孔大于被測探針組的探針頭。

可選的，所述測試裝置還包括固定機構以及移動機構，所述固定機構用于固定所述測試電路板，所述固定機構與所述移動機構連接；所述移動機構用于設置在測試機臺上且與所述測試機臺的控制器連接，所述移動機構用于接收所述控制器的指令實現(xiàn)所述測試電路板的移動。

可選的，所述測試裝置還包括旋轉機構，所述旋轉機構設置在所述固定機構與所述移動機構之間，用于在測試完成后將所述測試電路板旋轉至被測探針組的側面。