[發(fā)明專利]用于太赫茲波段增透的碲化鋅晶體表面微結(jié)構(gòu)的制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810647411.8 | 申請(qǐng)日： | 2018-06-22 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN108842186A | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-11-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 董江鵬;徐亞?wèn)|;周策;魏子涵;肖寶;李樂(lè)琪;介萬(wàn)奇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 西北工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C30B33/12 | 分類號(hào)： | C30B33/12 |
| 代理公司： | 西北工業(yè)大學(xué)專利中心 61204 | 代理人： | 王鮮凱 |
| 地址： | 710072 *** | 國(guó)省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 表面微結(jié)構(gòu) 碲化鋅晶體 增透 制備 碲化鋅 反應(yīng)離子刻蝕 太赫茲波段 透過(guò)率 晶片 刻蝕 化學(xué)拋光 機(jī)械拋光 甲醇溶液 晶片夾具 器件使用 微結(jié)構(gòu) 面刻 氣壓 裝入 生產(chǎn)成本 腐蝕 優(yōu)化 | ||
1.一種用于太赫茲波段增透的碲化鋅晶體表面微結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于包括以下步驟：
步驟一、將碲化鋅晶錠晶錠沿著<110>方向定向切割成碲化鋅單晶片；
步驟二、切割好的碲化鋅單晶片經(jīng)機(jī)械拋光和化學(xué)拋光后，直到10倍光學(xué)顯微鏡下看不到明顯劃痕，碲化鋅單晶片表面達(dá)到光學(xué)鏡面級(jí)平滑；對(duì)碲化鋅單晶片進(jìn)行化學(xué)腐蝕，將碲化鋅晶片依次在體積分?jǐn)?shù)為1～5％的溴甲醇、甲醇和丙酮的溶液中分別腐蝕清洗10～60s、10～20s和10～20s；
步驟三、將碲化鋅晶片放入刻蝕室中，并抽真空至本底真空度小于3×10-3Pa，采用CH4:H2＝8:40～17:40的混合氣體充當(dāng)反應(yīng)氣體，采用100～200W的射頻功率，刻蝕氣壓為1～2Pa進(jìn)行刻蝕10～30分鐘的工藝在碲化鋅晶體表面制備微結(jié)構(gòu)；
步驟四、將制備有微結(jié)構(gòu)的碲化鋅晶片裝入晶片夾具待用。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于西北工業(yè)大學(xué)，未經(jīng)西北工業(yè)大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810647411.8/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
