[發明專利]用于制造顯示裝置的加熱裝置

有效

• 申請號: 201810615695.2
• 申請日: 2012-12-24
• 公開（公告）號: CN108796451B
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 張哲榮;林玄澤;黃周煥;俞俊昊;洪碩敏
• 申請（專利權）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;H01L51/56
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;謝雪閩

公開了一種制造顯示裝置的加熱裝置，即使加熱件由于熱量而變形,也不使加熱裝置損壞或毀壞，并延長加熱件的更換周期，其中所述加熱裝置包括：加熱件，釋放熱量以加熱材料，所述材料將要被沉積到準備用于制造顯示裝置的基板上；用于支撐所述加熱件的第一安裝裝置；以及設置有通孔的第二安裝裝置，所述加熱件的另一端穿過所述通孔。

本申請是于2012年12月24日提交的、申請號為201210567092.2的題為“用于制造顯示裝置的加熱裝置”的發明專利申請的分案申請。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2012年6月20日提交的韓國專利申請第10-2012-0066405號的權益，在此通過援引將該專利申請的內容結合在此，就像在這里被全部闡述一樣。

技術領域

本發明涉及用于制造顯示裝置的加熱裝置。

背景技術

有機發光二極管(OLED)、液晶顯示器(LCD)、等離子顯示面板(PDP)以及電泳顯示器(EPD)等顯示裝置是通過各種工序制造的。這些工序可以包括在基板上沉積薄膜的沉積工序，以及根據預定圖案去除薄膜的蝕刻工序。例如，可以通過無機或金屬材料的蒸發工序在基板上沉積薄膜，來制造OLED。此處，韓國專利申請第P10-0670360號(日期為2007年1月16日)公開了用于此工序的設備。

圖1是說明現有技術的沉積設備和用于該沉積設備的加熱裝置的截面側視圖。

參照圖1，現有技術的沉積設備10包括處理室11和加熱裝置12，處理室11用于執行在基板100上形成薄膜的工序，加熱裝置12用于蒸發材料以形成薄膜。

加熱裝置12包括用于在其中容納材料的容器121，以及用于對容器121中容納的材料進行加熱的加熱件122。與容器121結合的加熱件122覆蓋容器121的外部。當對加熱件122提供電力時，加熱件122釋放熱量，從而對容器121中容納的材料進行加熱。于是，容器121中容納的材料被蒸發，然后向基板100轉移，從而在基板100上形成薄膜。加熱件122以相當高的溫度釋放熱量，以使得容器121中容納的材料蒸發。例如，如果容器121中容納的材料為無機或金屬材料，則加熱件122釋放出具有高于大約1000℃溫度的熱量。

在現有技術的沉積設備10的情況下，沿水平方向(X軸方向)覆蓋容器121的多個加熱件122，沿垂直方向(Z軸方向)與容器121結合。因此，在釋放高溫熱量的工序期間，加熱件122由于重力而在向下方向(箭頭A的方向)上發生變形，由此導致加熱件122朝向下方向(箭頭A的方向)移動。于是，由于加熱件122在沉積設備10中的移動，導致加熱件122與容器121結合的位置發生改變，使得難以均勻地對容器121中容納的材料進行加熱。在現有技術的沉積設備10中，用于修理或更換加熱件122的周期很短。此外，在修理或更換加熱件122的過程中，應該停止在基板100上沉積薄膜的工序，因此降低了制造顯示裝置的工序的生產率。

發明內容

本發明涉及制造顯示裝置的加熱裝置，該加熱裝置基本上避免了由于現有技術的局限和缺點而導致的一個或多個問題。

本發明的一方面是提供制造顯示裝置的加熱裝置，即使加熱件由于熱量而變形，也不使該加熱裝置損壞或毀壞。

將在隨后的描述中部分地闡述本發明其它的優點和特征，并且這些優點和特征的一部分在本領域技術人員研習下文后，對于本領域技術人員而言將變得顯而易見，或者可以從本發明的實踐中獲悉。通過在文字描述的說明書和它的權利要求書以及附圖中具體指出的結構可以實現和獲得本發明的目的和其它優點。