[發明專利]有機發光二極管制作方法與裝置

有效

• 申請號: 201810608586.8
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN108511636B
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 梁艦;倪婷;王波
• 申請（專利權）人: 江蘇集萃有機光電技術研究所有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 王文紅

1.一種有機發光二極管制作裝置，其特征在于，所述有機發光二極管制作裝置包括：真空腔體、蒸鍍源、基板架、多個遮蓋模板、遮蓋模板切換機構以及控制器；

所述蒸鍍源、所述基板架、所述多個遮蓋模板、所述遮蓋模板切換機構均位于所述真空腔體內，所述控制器與所述遮蓋模板切換機構電連接；

所述遮蓋模板切換機構設置于所述基板架遠離所述蒸鍍源的一側；

多個所述遮蓋模板設置于所述遮蓋模板切換機構上，面向所述基板架；

在OLED基板的多個有機功能層或電極層的蒸鍍階段，所述遮蓋模板切換機構配置為能夠操控將所述遮蓋模板貼合到OLED基板遠離所述蒸鍍源的一側。

2.根據權利要求1所述的有機發光二極管制作裝置，其特征在于，

在OLED基板的多個有機功能層或電極層的蒸鍍階段，所述控制器用于控制所述遮蓋模板切換機構操控所述多個遮蓋模板在所述OLED基板遠離有機發光層一側切換，以及控制所述遮蓋模板切換機構的升降。

3.根據權利要求1所述的有機發光二極管制作裝置，其特征在于，

所述多個遮蓋模板為柔性基板，所述遮蓋模板切換機構為傳送帶式切換機構；或

所述多個遮蓋模板為剛性基板，所述遮蓋模板切換機構為多臂式機械臂。

4.根據權利要求1所述的有機發光二極管制作裝置，其特征在于，

所述遮蓋模板還設有溫度控制模塊。

5.一種有機發光二極管制作方法，應用于有機發光二極管制作裝置，其特征在于，所述有機發光二極管制作裝置包括：

遮蓋模板切換機構，設置于OLED基板遠離有機發光層一側；

多個遮蓋模板，所述多個遮蓋模板具有不同的圖案層，所述不同的圖案層間隔設置于所述遮蓋模板切換機構的一側，

在OLED基板的多個有機功能層或電極層的蒸鍍階段，所述遮蓋模板切換機構配置為能夠操控將所述遮蓋模板貼合到所述OLED基板遠離蒸鍍源的一側；

所述有機發光二極管制作方法包括：

在所述OLED基板的正面的導電層表面依次蒸鍍多層有機功能層及電極層；

在多個有機功能層或電極層的蒸鍍階段，所述遮蓋模板切換機構操控所述多個遮蓋模板在所述OLED基板的背面切換。

6.根據權利要求5所述的有機發光二極管制作方法，其特征在于，多個所述遮蓋模板均為磁性模板，在處于蒸鍍階段時，多個所述磁性模板磁性吸附于所述OLED基板表面。

7.根據權利要求5或6所述的有機發光二極管制作方法，其特征在于，所述OLED基板遠離所述有機發光層一側的表面還設置有一圖案化的貼附膜層。

8.根據權利要求7所述的有機發光二極管制作方法，其特征在于，所述圖案化的貼附膜層包含的至少一個區域與其他一個或多個區域的透明度不同和/或導熱系數不同和/或反射率不同。

9.根據權利要求7所述的有機發光二極管制作方法，其特征在于，所述圖案化的貼附膜層包含的其中一個區域與剩余的其他一個或多個區域的厚度不同。

10.根據權利要求5所述的有機發光二極管制作方法，其特征在于，至少一個所述遮蓋模板停留并貼合在OLED基板的背面的時間與其余的一個或多個所述遮蓋模板停留并貼合在OLED基板的背面的時間不同。