[發明專利]一種基于微細盤狀電極在線制備的微陣列結構微細電解周銑加工方法

在審

• 申請號: 201810589032.8
• 申請日: 2018-06-08
• 公開（公告）號: CN108746896A
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發明（設計）人: 王玉魁;陳祥;王振龍;尹佳恒;張玉鑫
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: B23H3/00
• 分類號: B23H3/00;B23H7/02;B23H3/04;B23H7/26;B23H7/20
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 岳昕

1.一種基于微細盤狀電極在線制備的微陣列結構微細電解周銑加工方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

步驟一、對盤狀電極毛坯(11)在線進行微細電火花線切割加工，制備出微細盤狀電極(20)；

步驟二、將制備完成的微細盤狀電極(20)作為工具電極對待加工工件(19)在線進行微細電解周銑加工，從而在待加工工件(19)的表面上加工出微陣列結構。

2.根據權利要求1所述的一種基于微細盤狀電極在線制備的微陣列結構微細電解周銑加工方法，其特征在于，步驟一中，對盤狀電極毛坯(11)在線進行微細電火花線切割加工是在微細加工機床的微細電極絲(8)工位上實現；

步驟二中，將制備完成的微細盤狀電極(20)作為工具電極對待加工工件(19)在線進行微細電解周銑加工是在微細加工機床的分度旋轉裝置(18)工位上實現。

3.根據權利要求2所述的一種基于微細盤狀電極在線制備的微陣列結構微細電解周銑加工方法，其特征在于，微細加工機床包括工控機(1)、電火花加工短路檢測系統(2)、高頻脈沖電源(3)、高速主軸(4)、機床工作平臺(5)、電火花工作液循環系統(6)、電火花工作液槽(7)、微細電極絲(8)、標準棒(9)、伺服控制系統(10)、電解工作液循環系統(12)、電解工作液槽(13)、電解加工短路檢測系統(14)、電解電源(15)、Z軸伺服裝置(16)、X/Y軸伺服裝置(17)和分度旋轉裝置(18)；

高速主軸(4)、電火花工作液槽(7)和電解工作液槽(13)固定在機床工作平臺(5)上；電火花工作液循環系統(6)用于將電火花工作液送至盤狀電極毛坯(11)所在的加工區域，并通過電火花工作液槽(7)回收利用；工控機(1)通過伺服控制系統(10)控制X/Y軸伺服裝置(17)運動，從而使機床工作平臺(5)在X軸或Y軸方向運動；

工控機(1)還用于控制高速主軸(4)的輸出轉速，高速主軸(4)輸出軸通過夾頭與標準棒(9)的一端連接，標準棒(9)的另一端與盤狀電極毛坯(11)或微細盤狀電極(20)相裝配；

高頻脈沖電源(3)的正極通過高速主軸(4)的夾頭連接盤狀電極毛坯(11)；高頻脈沖電源(3)的負極與微細電極絲(8)連接；微細電極絲(8)作為工具電極對盤狀電極毛坯(11)在線進行微細電火花線切割加工；

電火花加工短路檢測系統(2)，用于檢測微細電極絲(8)和盤狀電極毛坯(11)之間的接觸電壓，并將檢測后的信號發送至工控機(1)；

待加工工件(19)通過分度旋轉裝置(18)固定在Z軸伺服裝置(16)上，工控機(1)通過伺服控制系統(10)控制Z軸伺服裝置(16)運動，從而使待加工工件(19)在Z軸方向運動；

工控機(1)還用于控制分度旋轉裝置(18)進行分度轉動，從而實現復雜微陣列結構的加工；

電解加工短路檢測系統(14)用于檢測微細盤狀電極(20)與待加工工件(19)之間的接觸電壓，并將檢測后的信號發送至工控機(1)；

電解電源(15)的陰極通過高速主軸(4)的夾頭連接在線制備的微細盤狀電極(20)；電解電源(15)的陽極與待加工工件(19)連接；微細盤狀電極(20)作為工具電極對待加工工件(19)在線進行微細電解周銑加工；

電解工作液循環系統(12)用于將電解工作液送至待加工工件(19)所在的加工區域，并通過電解液槽(13)回收利用。