[發明專利]補液方法

有效

• 申請號: 201810573694.6
• 申請日: 2018-06-06
• 公開（公告）號: CN110565076B
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 儲芾坪
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/448
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種補液方法，其特征在于，補液設備包括多個備用容器；

所述補液方法包括以下步驟：

S1，檢測氣體容器的液位，并判斷所述氣體容器的液位是否低于預設的第一液位；若是，則進行步驟S2；

S2，按預設順序逐個檢測所述備用容器的液位，并在檢測每個所述備用容器的液位之后判斷所檢測的備用容器的液位是否低于預設的第二液位；若否，則使所檢測的備用容器在線，并對所述氣體容器進行補液；若是，則使所檢測的備用容器的下一個備用容器在線，并對所述氣體容器進行補液；

所述步驟S1具體包括以下步驟：

S11，在工藝開始時檢測工藝腔室的當前狀態，并判斷所述工藝腔室的當前狀態是在線狀態還是離線狀態；若所述工藝腔室的當前狀態是在線狀態，則進行自動工藝，并進行步驟S12；若所述工藝腔室的當前狀態是離線狀態，則進行手動工藝，并進行步驟S13；

S12，檢測所述氣體容器的液位，并判斷所述氣體容器的液位是否低于所述第一液位；若是，則將所述工藝腔室在完成當前工藝之后下線，并進行所述步驟S2；

S13，檢測所述氣體容器的液位，并判斷所述氣體容器的液位是否低于所述第一液位；若是，則進行步驟14；

S14，判斷所述氣體容器的液位是否低于預設的第三液位，所述第三液位低于所述第一液位；若是，則將所述工藝腔室在完成當前工藝之后下線，并進行所述步驟S2。

2.根據權利要求1所述的補液方法，其特征在于，所述步驟S13具體包括以下步驟：

S131，檢測所述氣體容器的液位，并判斷所述氣體容器的液位是否低于所述第一液位；若是，則進行步驟S132和所述步驟S14；

S132，進行缺液提示，并給出是否繼續工藝的選項供用戶選擇。

3.根據權利要求1-2任意一項所述的補液方法，其特征在于，所述補液設備還包括進氣管路，所述進氣管路的進氣口與氣源連接，所述進氣管路的出氣口為多個，且與多個所述備用容器的進氣口一一對應地連接；

所述步驟S2具體包括以下步驟：

S21，按預設順序逐個檢測所述備用容器的液位，并在檢測每個所述備用容器的液位之后判斷所檢測的備用容器的液位是否低于預設的第二液位；若否，則使所檢測的該備用容器在線；若是，則使所檢測的備用容器的下一個所述備用容器在線；

S22，檢測所述進氣管路的進氣口的壓力，并判斷所述進氣口的壓力是否高于預設壓力；若是，則進行步驟S23；若否，則進行步驟S24；

S23，經由所述進氣管路的進氣口對所述進氣管路進行抽氣，然后進行所述步驟S24；

S24，檢測在線的所述備用容器與所述氣體容器之間的管路中的壓力，并判斷該壓力是否超出預設閾值，若是，則進行步驟S25；若否，則進行步驟S26；

S25，根據判斷結果對在線的所述備用容器進行抽氣或者充氣，然后進行所述步驟S26；

S26，使用在線的所述備用容器對所述氣體容器進行補液。

4.根據權利要求3所述的補液方法，其特征在于，所述步驟S2還包括以下步驟：

S27，檢測所述氣體容器的液位，并判斷所述氣體容器的液位是否上升至預設的第四液位；若是，則停止在線的所述備用容器的補液工作；若否，則進行步驟S28；

S28，檢測在線的所述備用容器的液位，并判斷在線的所述備用容器的液位是否低于所述第二液位，若否，則繼續進行所述步驟S26；若是，則進行缺液提示，并切換下一個所述備用容器在線，繼續進行所述步驟S26。

5.根據權利要求1所述的補液方法，其特征在于，所述補液方法還包括以下步驟：

S3，使連接在所述備用容器與所述氣體容器之間的所有管路中的液體回流至在線的所述備用容器中。