[發明專利]透射鏡聚焦光路裝調系統及透射鏡聚焦光路裝調方法

有效

• 申請號: 201810571479.2
• 申請日: 2018-06-05
• 公開（公告）號: CN110146965B
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 蔣杉;孫東松;韓飛;鄭俊;韓於利
• 申請（專利權）人: 中國科學技術大學
• 主分類號: G02B7/28
• 分類號: G02B7/28
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 謝海燕

1.一種透射鏡聚焦光路裝調系統，包括反射模塊、孔徑光闌、透射鏡、光束出射干涉顯示模塊，其中，

在光軸一致狀態下的所述反射模塊和所述光束出射干涉顯示模塊之間設置有所述透射鏡；

所述光束出射干涉顯示模塊包括干涉儀以及與所述干涉儀連接的計算機，所述干涉儀出射的作為裝調光的平行光束的一部分作為檢測光而另一部分作為參考光；

所述檢測光穿過所述透射鏡后由所述反射模塊反射而逆向返回所述干涉儀以形成行進方向與所述參考光相反的反射光；

所述孔徑光闌的口徑中心與所述透射鏡聚焦光路裝調系統的主軸一致，所述孔徑光闌的口徑緣與穿過所述孔徑光闌的檢測光的光束邊緣光線相切；

根據所述計算機顯示的透射鏡云圖和基于所述反射光與所述參考光的干涉圖樣，定位所述透射鏡及所述透射鏡相對于所述裝調光的焦點位置，根據所述透射鏡的色散性質計算所述透射鏡相對于所述裝調光及所述聚焦光的焦點差距，由此，定位所述透射鏡相對于所述聚焦光的焦點位置。

2.根據權利要求1所述的透射鏡聚焦光路裝調系統，其中，

所述反射模塊為反射鏡，該反射鏡的鏡面以使入射光逆向反射的方式形成。

3.根據權利要求2所述的透射鏡聚焦光路裝調系統，其中，

根據所述透射鏡云圖調整所述透射鏡的放置角度，根據所述干涉圖樣調整所述透射鏡的放置位置，由此，確定在所述透射鏡聚焦光路裝調系統的主軸上所述透射鏡的位置、以及所述透射鏡相對于所述裝調光的焦點位置。

4.根據權利要求3所述的透射鏡聚焦光路裝調系統，其中，

所述孔徑光闌在所述反射模塊與所述透射鏡之間以更靠所述透射鏡的方式設置。

5.根據權利要求2所述的透射鏡聚焦光路裝調系統，其中，

定位上述相切的狀態的孔徑光闌在所述透射鏡聚焦光路裝調系統的主軸上的位置，按下述式子(1)計算所述透射鏡的焦點在所述透射鏡聚焦光路裝調系統的主軸上距所述孔徑光闌的位置的距離(h)，即，式子(1)：

在此，h為所述透射鏡的焦點在所述透射鏡聚焦光路裝調系統的主軸上距所述孔徑光闌的距離；d為所述孔徑光闌的口徑值；α為所述透射鏡相對于裝調光的光束匯聚角。

6.根據權利要求5所述的透射鏡聚焦光路裝調系統，其中，

根據所述孔徑光闌的位置以及所述透射鏡的焦點距所述孔徑光闌的距離(h)，核對所述透射鏡的焦點位置。

7.根據權利要求6所述的透射鏡聚焦光路裝調系統，其中，

所述反射鏡為球面反射鏡，所述透射鏡為近軸區域為平凸形狀的非球面透射鏡，由此，在所述非球面透射鏡的平面側設置有所述球面反射鏡，在所述非球面透射鏡的非球面側設置有所述干涉儀；

所述焦點差距通過式子(2)：

而計算，在此，R為所述焦點差距；β是所述透射鏡相對于聚焦光的光束匯聚角；S是所述透射鏡的有效口徑。

8.根據權利要求1至權利要求7中任一項所述的透射鏡聚焦光路裝調系統，其中，

所述裝調光的波長為632.8nm，所述聚焦光的波長為1550nm。

9.一種透射鏡聚焦光路裝調方法，是權利要求1至權利要求8中任一項所述的透射鏡聚焦光路裝調系統的裝調方法，其中，

所述透射鏡相對于所述聚焦光的焦點位置是聚焦光源的設置位置。