[發(fā)明專(zhuān)利]一種陣列基板及其制作方法、液晶顯示裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810570161.2
• 申請(qǐng)日: 2018-06-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108803168B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱茂霞;徐洪遠(yuǎn)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G02F1/1362
• 分類(lèi)號(hào): G02F1/1362;G02F1/1368
• 代理公司: 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 鐘子敏

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種陣列基板及其制作方法、液晶顯示裝置，該陣列基板的制作方法包括：在基板上形成TFT器件后，依次覆蓋鈍化層、遮擋層和光阻層；對(duì)光阻層、遮擋層和鈍化層進(jìn)行處理，以在對(duì)應(yīng)有效顯示區(qū)的位置形成第一區(qū)域和第二區(qū)域，以及在對(duì)應(yīng)TFT器件的位置形成第三區(qū)域；在陣列基板的表面形成第一導(dǎo)電層；對(duì)光阻層進(jìn)行剝離。通過(guò)上述方式，本申請(qǐng)一方面能夠減少了光罩制程，提高了制作效率，另一方面還能夠提高了光阻的剝離效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種陣列基板及其制作方法、液晶顯示裝置。

背景技術(shù)

LCDs(Liquid crystal displays)是一種被廣泛應(yīng)用的平板顯示器，主要是通過(guò)液晶開(kāi)關(guān)調(diào)制背光源光場(chǎng)強(qiáng)度來(lái)實(shí)現(xiàn)畫(huà)面顯示。

該開(kāi)關(guān)一般采用TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶體管)制作，TFT制程一般采用多道光罩(mask)，過(guò)多的光罩次數(shù)會(huì)增加制程成本，同時(shí)也會(huì)增加生產(chǎn)時(shí)間，使生產(chǎn)效率大大降低。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)主要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種陣列基板及其制作方法、液晶顯示裝置，一方面能夠減少了光罩制程，提高了制作效率，另一方面還能夠提高了光阻的剝離效率。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)采用的一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種陣列基板的制作方法，該方法包括：在基板上形成TFT器件后，依次覆蓋鈍化層、遮擋層和光阻層；對(duì)光阻層、遮擋層和鈍化層進(jìn)行處理，以在對(duì)應(yīng)有效顯示區(qū)的位置形成第一區(qū)域和第二區(qū)域，以及在對(duì)應(yīng)TFT器件的位置形成第三區(qū)域；其中，第一區(qū)域裸露出鈍化層，第二區(qū)域?qū)?yīng)的遮擋層的寬度小于光阻層的寬度，第三區(qū)域裸露出TFT器件的源極/漏極；在陣列基板的表面形成第一導(dǎo)電層；其中，第一導(dǎo)電層與第一區(qū)域裸露的鈍化層、第二區(qū)域的光阻層、以及第三區(qū)域裸露的源極/漏極接觸，且第一區(qū)域的第一導(dǎo)電層和第二區(qū)域的第一導(dǎo)電層之間斷開(kāi)；對(duì)光阻層進(jìn)行剝離。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)采用的一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種陣列基板，該陣列基板是采用如下方式制作得到的：在基板上形成TFT器件后，依次覆蓋鈍化層、遮擋層和光阻層；對(duì)光阻層、遮擋層和鈍化層進(jìn)行處理，以在對(duì)應(yīng)有效顯示區(qū)的位置形成第一區(qū)域和第二區(qū)域，以及在對(duì)應(yīng)TFT器件的位置形成第三區(qū)域；其中，第一區(qū)域裸露出鈍化層，第二區(qū)域?qū)?yīng)的遮擋層的寬度小于光阻層的寬度，第三區(qū)域裸露出TFT器件的源極/漏極；在陣列基板的表面形成第一導(dǎo)電層；其中，第一導(dǎo)電層與第一區(qū)域裸露的鈍化層、第二區(qū)域的光阻層、以及第三區(qū)域裸露的源極/漏極接觸，且第一區(qū)域的第一導(dǎo)電層和第二區(qū)域的第一導(dǎo)電層之間斷開(kāi)；對(duì)光阻層進(jìn)行剝離。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)采用的一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種液晶顯示裝置，該液晶顯示裝置包括陣列基板、彩膜基板、以及陣列基板和彩膜基板之間的液晶層；其中，該陣列基板是采用如下方式制作得到的：在基板上形成TFT器件后，依次覆蓋鈍化層、遮擋層和光阻層；對(duì)光阻層、遮擋層和鈍化層進(jìn)行處理，以在對(duì)應(yīng)有效顯示區(qū)的位置形成第一區(qū)域和第二區(qū)域，以及在對(duì)應(yīng)TFT器件的位置形成第三區(qū)域；其中，第一區(qū)域裸露出鈍化層，第二區(qū)域?qū)?yīng)的遮擋層的寬度小于光阻層的寬度，第三區(qū)域裸露出TFT器件的源極/漏極；在陣列基板的表面形成第一導(dǎo)電層；其中，第一導(dǎo)電層與第一區(qū)域裸露的鈍化層、第二區(qū)域的光阻層、以及第三區(qū)域裸露的源極/漏極接觸，且第一區(qū)域的第一導(dǎo)電層和第二區(qū)域的第一導(dǎo)電層之間斷開(kāi)；對(duì)光阻層進(jìn)行剝離。