[發明專利]一種半導體硅晶圓旋轉光刻機

有效

• 申請號: 201810534801.4
• 申請日: 2018-05-29
• 公開（公告）號: CN108710269B
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 侯玉闖;薛鵬
• 申請（專利權）人: 紹興盈順機電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 紹興市寅越專利代理事務所(普通合伙) 33285
• 代理人: 焦亞如

1.一種半導體硅晶圓旋轉光刻機，包括主框架(1)、移動支架(2)、曝光裝置(3)、旋轉臺(4)、動平衡裝置(5)、減震裝置(6)、基礎框架(7)，所述主框架(1)用于承載旋轉臺(4)；所述主框架(1)內部設有旋轉臺(4)，主框架(1)上方滑動安裝移動支架(2)；所述移動支架(2)中部下方固定連接曝光裝置(3)；所述曝光裝置(3)用于將曝光圖形成像于硅晶圓(8)上，曝光裝置(3)包括透鏡(31)、照明裝置(32)；所述照明裝置(32)上端固定連接在移動支架(2)底部，照明裝置(32)下端與透鏡(31)上端固定連接；所述透鏡(31)下方設有旋轉臺(4)；所述旋轉臺(4)通過電機安裝在主框架(1)底板上；所述旋轉臺(4)內部設置旋轉空腔(41)，旋轉空腔(41)內設有動平衡裝置(5)；所述動平衡裝置(5)用于降低旋轉臺(4)在旋轉過程中產生的振動；所述主框架(1)與基礎框架(7)之間設有減震裝置(6)；所述減震裝置(6)用于降低主框架(1)產生的振動；其特征在于：所述動平衡裝置(5)包括旋轉主軸(51)、中心轉盤(52)、彈簧、平衡塊(53)，所述旋轉主軸(51)轉動安裝在旋轉臺(4)的旋轉軸上，旋轉主軸(51)受電機驅動轉動；所述旋轉主軸(51)上端固定連接中心轉盤(52)的下端面；所述中心轉盤(52)圓柱面上通過彈簧連接一組平衡塊(53)；

所述平衡塊(53)上方設有上氣浮板(54)，平衡塊(53)下方設有下氣浮板(55)；所述上氣浮板(54)上表面與旋轉空腔(41)頂面固定連接，上氣浮板(54)下表面設置一組一號吹氣孔(541)；所述一號吹氣孔(541)向下吹定向氣流；所述下氣浮板(55)下表面與旋轉空腔(41)底面固定連接，下氣浮板(55)上表面設置一組二號吹氣孔(551)；所述二號吹氣孔(551)向上吹定向氣流；所述平衡塊(53)能夠在上氣浮板(54)和下氣浮板(55)之間穩定懸浮；

所述一號吹氣孔(541)和二號吹氣孔(551)內設置一號球形空腔(542)；所述一號球形空腔(542)靠近中心轉盤(52)一側設置一號圓弧形滑槽(543)；所述一號球形空腔(542)內轉動安裝轉動塊(56)；所述轉動塊(56)內部設置四號吹氣孔(561)，轉動塊(56)靠近中心轉盤(52)一側設置滑動凸臺(562)；所述滑動凸臺(562)在一號圓弧形滑槽(543)內滑動；所述四號吹氣孔(561)靠近平衡塊(53)一端的出口一圈嵌入環形球面磁鐵(563)；所述平衡塊(53)上、下表面嵌入磁鐵(531)。

2.根據權利要求1所述的一種半導體硅晶圓旋轉光刻機，其特征在于：所述減震裝置(6)包括波紋氣墊(61)、彈簧，所述波紋氣墊(61)內部設置一號空腔(611)；所述一號空腔(611)內部設有彈簧；所述波紋氣墊(61)向上的波紋面上設置一組三號吹氣孔(612)；所述三號吹氣孔(612)沿豎直方向設置。

3.根據權利要求2所述的一種半導體硅晶圓旋轉光刻機，其特征在于：所述波紋氣墊(61)向下的波紋面與向上的波紋面的交界處鉸接擋流板(62)的一端，鉸接處設有扭簧；所述擋流板(62)用于阻擋波紋氣墊(61)向下的波紋面上反射的氣流；所述擋流板(62)的另一端鉸接毛刷桿(63)一端，鉸接處設有扭簧；所述毛刷桿(63)的另一端下方設置一組刷毛(631)。

4.根據權利要求2所述的一種半導體硅晶圓旋轉光刻機，其特征在于：所述三號吹氣孔(612)內設置二號球形空腔(613)，所述二號球形空腔(613)內壁設有二號圓弧形滑槽(614)和三號圓弧形滑槽(615)，二號圓弧形滑槽(614)和三號圓弧形滑槽(615)不相鄰；所述三號圓弧形滑槽(615)上端通過連通孔與一號空腔(611)連通；所述三號圓弧形滑槽(615)底部設有圓弧形進氣槽(616)；所述二號球形空腔(613)內轉動安裝吹氣塊(64)；所述吹氣塊(64)設有出氣凸臺(641)和進氣凸臺(642)，出氣凸臺(641)和進氣凸臺(642)不相鄰；所述吹氣塊(64)內部設置二號空腔(643)；所述進氣凸臺(642)上設置進氣口(644)；所述進氣口(644)與二號空腔(643)連通；所述出氣凸臺(641)上設置出氣口(645)；所述出氣口(645)與二號空腔(643)連通；所述出氣凸臺(641)在二號圓弧形滑槽(614)內滑動；所述進氣凸臺(642)在三號圓弧形滑槽(615)內滑動；所述三號圓弧形滑槽(615)內設有一號彈簧(65)，吹氣塊(64)轉動用于一號空腔(611)與波紋氣墊(61)外部連通。